紫外+O(氧原子)是一种利用光敏氧化过程来去除光刻胶的残余物、树脂、人类皮肤油渍、清洁剂残余物、硅油等污染物分子的清洁过程。通过污染物对短波长紫外辐射的吸收来激发或解离污染物分子实现清洁功能。184.9nm ..
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