工业气体：氧气、氦、等；（纯度≥99.5%） 高纯气体：高纯氧、高纯氮、高纯氦等 特种气体：氪气、氚气、氖气等稀有特种气体； 电子气体：SF6、CF4、SIH4、NF3..

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