SK海力士工厂着火请重视无尘车间防火要求

时间：2013-09-26

作者：深圳市碧海青云净化科技有限公司

海力士大火存储芯片价格上涨（转自元器件交易网之“电子行业一周事件回顾”）

9月4日下午，由于无锡新区海力士公司生产车间气体泄漏，引发车间屋顶排气洗涤塔管道的保护层着

火，火势由二楼通风管道逐渐向三、四、五楼各层蔓延，过火面积约600平方米，主要烧毁气柜、可燃气体

管道等物质。

而海力士韩国一名业内相关人士表示，DRAM工厂是24小时运行，一旦发生火灾、停电等事故，投入生

产的晶片将无法使用。考虑到设备方面的损失，无锡工厂较少也需要数天才能重新投入生产。

SK海力士公司发布声明称：“我们还在调查受损程度。芯片晶圆损失很低，包括无尘室在内的主要生

产设施都没有受到影响。我们很快就能重启生产，总体的产量不会受到影响。”

据记者了解，无尘室是整个生产环节的心脏部位，芯片要在一个环境受控，没有灰尘和噪音振动的条件

下生产，温度和湿度也调整得十分得当，以防静电干扰。

不过对于海力士的公开回应，有行业*表示，无锡工厂可能需要半年才能完全恢复。市场调研公司

TrendForce也在一份报告中称：SK海力士的无尘室至少需要半年才能完全恢复。

“根据海力士现场着火的情况，以及生产车间的损毁程度，外界的的质疑不无道理，想要尽快恢复生产，

根本不可能。”无锡官方一位不愿具名的官方人士对记者说。

较新的公开信息显示，SK海力士位于无锡的DRAM工厂4日下午发生火灾，该工厂DRAM生产线全面中

断，导致移动手机和计算机的存储芯片价格猛涨19%。……。

碧海青云与您分享“工厂无尘车间防火要求”

1)电子工厂无尘车间中，有使用丙酮、异丙醇等易燃化学品的洁净室，这些化学品均属甲类，因此将电子工

厂无尘车间设有这些化学品的储存间、分配间列为甲类。

2)电子工厂洁净J房中，尤其在半导体类型无尘车间中常常使用H”S1H4. AsH3、PH3等町燃、有毒气体，

它们均属可燃气体、有毒气体，因此将电子工厂无尘车间中设有可燃、有毒气体的储存、分配间列为甲类。

3)半导体器件、集成电路工厂的外延间，由于其生产过程中需使用H2. SiH4等可燃气体，它们的着火下限均

低丁10%，因此外延间理应列为甲类，但是近年来，随着科学技术进步，半导体器件和集成电路生产所采用

的外延设备的设计、制造技术的不断提高；各种气体供应、控制系统、设备和附件设计、制造技术的不断提

高，气体报警设施的安全可靠性的长足进步和提高。据调查表明：半导体器件和集成电路生产所采用的外延

设备已配置有氢气泄漏和排放**浓度报警、连锁控制装置以及灭火装置等；半导体器件和集成电路生产用外

延间的氢气供应管路设有紧急切断阀，一旦发生事故、火情时，自动切断氢气供应；外延问按建筑特点在可

能积聚氢气处设置*气报警装置和事故排风连锁控制装置等安全技术措施。所以“规菹”制定时，考虑到在具

备上述安全技术措施的条件下，宜将半导体器件和集成电路生产等所使用外延问列为丙类。

（深圳市碧海青云净化科技有限公司专业生产净化产品和设备的厂家,是华南地区较优秀的无尘室整体工程承

建商之一，是空气净化设备的重点生产厂家（主要承建：净化工程；生产：风淋室，洁净棚，洁净工作台，

传递窗，高效送风口，FFU，初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器等净化设备）

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