链带式焊接炉

时间：2014-10-22

作者：青岛福润德微电子设备有限公司

链带式焊接炉技术方案

链带式焊接炉主要应用于半导体器件，金属陶瓷，可控硅器件，玻璃封装器件以及各种厚膜电路等焊接和烧结的连续工作的隧道式结构热处理炉。

一、主要技术指标

1、设计温度：≤700℃

2、工作温度：300℃~600℃

3、炉内控温：±5℃

4、仪表控制精度：±1℃

5、设备总长度：约10600mm；进出口台面各为：800mm。

6、加热区长度：≤3000mm（6段加热）

7、冷却区长度：≥6000mm

8、冷却方式：水冷

9、加热方式：四周刚玉加热板内嵌加热丝

10、控制方式：过零触发

11、控温段数：6段每段温度可调，独立显示，日本岛电温控仪

12、功率分配：每段10~12KW

13、升温时间：≤80min（室温升至600℃）

14、传送带速度：50-200mm/min可调，（链条控制精度：≤±2mm/min）常用速度为150mm/min

15、气路系统：保护气体为氮气、氢气、氢氮混合气，5路浮子流量计（流量计0－40L/ min）,4路氮气，1路氢气，配备氮氢混气包，废氢燃烧装置。

16、炉膛尺寸：高度185mm，宽度270mm（满外）

17、链带宽度：240mm，高度：10mm

18、设有**温，断偶，停带，缺水，气压高、低报警

19、两端设有气幕和机械幕帘，机械幕帘高度30mm， 2块幕帘均分

20、供电方式：加热系统采用220VAC（三相四线），控制系统采用110伏**电。

21、开机最大功率：≤72KW

22、正常运行功率：≤30KW

23、炉体外形尺寸：总高度约1380mm，总长度约10600mm，操作台高度约800mm

24、炉膛出口处配有出料报警提示装置

二、链式焊接炉的组成

1、整体结构部分：

链带式焊接炉设备组合体由进端工作台，出端工作台，设备主体，进料工作通道，主工作通道，加热器，出料工作通道，保护板等组成。

（1）设备主体结构和主要部分：

整机设备呈水平长条状结构，要求物料左进右出（或右进左出，根据厂房确定）。整机分为机头，主机，机尾，主机部分为机架，传动系统，炉膛，水冷却，电器控制部分。

设备主体骨架，进端工作台，出端工作台的骨架用碳钢焊成，工作台面采用1Cr18Ni9Ti不锈钢板材制成，其设计结构合理，稳定。内部管线要求排列整齐，规范，不得纵横交错。

设备的底部设计有调节地脚，以保证整体设备调整在理想的水平状态。

为方便设备操作人员座、立操作的方便舒适，工作台和主体设备的高度均按人体工程学的原理要求设计在较佳的位置状态。

（2）进出料通道：

两端通道是气体封口的关键部件，它是由气体幕帘，机械幕帘组成，同时通道内设计**械幕帘，帘片0.2-0.3厚的不锈钢箔组成，由数片不锈钢箔片和气幕的组合，有效地封闭料口使空气不能进入炉膛，起到封闭作用使工艺器件不氧化。

为了保证进出幕帘通道的气密性，在部件的制作过程及程序上，严格按工艺要求进行气密性试验。

（3）工作通道：

工作通道是处在加热区的关键部件，其材料是用耐热不锈钢制作而成，其两端分别与进幕通道和冷却通道的进端焊接。

为保证加热区内的进气分布均匀合理，分别在加热区通道的左右侧面有进气通道，气体均匀分布，可达到理想的保护效果。

（4）冷却通道

冷却通道是由不锈钢板材制作而成，它是保证随链带从加热区出来的器件得到理想的冷却效果，为保证这一效果而将冷却通道由水冷却区组成，总长大于1500mm。冷却水箱在通道的外部四周，采用逆向冷却方式然后流出。该设计通过充分的循环达到冷却的良好效果，在循环过程中，不形成死角。冷却通道在制作程序行严格按照工艺要求进行气密性试验。

（5）加热器及加热形式：

加热采用刚玉挂板加热，保证加热器寿命，加热为四周加热方式，保证加热均匀性，维修更换方便。保温材料采用氧化铝保温棉，重量轻，保温效果好。

（6）设备外护板：

外装饰炉板及**板用厚1mm钢板制作，喷塑处理。**部盖板用料与外装饰护板一致，散热孔按甲方*的式样冲制，外装饰护板表面要求平整，无凹凸不平现象。机架内装有炉体，工作通道，水气管路系统及冷却水套，传动系统，电器控制系统及加热保温元件。

（7）尾气处理：

1、针对工作过程中产生的烟雾废气，在炉膛的两端分别加装排气罩。工作时因炉膛内为微正压，故烟雾和废气会随排气罩通过管道排到室外。

2、废氢燃烧装置，隧道炉的进出工作腔体的两端各有一套废氢燃烧装置，保证废氢能及时处理，杜绝安全隐患

3、氢气管路上安装有单向阀门，实现氢气使用的**安全。

2、机械传动部分：

（1）驱动动力：在传动上，采用摆线针轮减速机，选用这种减速机其特点是：瞬间转速比稳定可靠，传速比大可获得较大的调速范围。

（2）采用变频器的控制，带速调节方便直观，且传动稳定，调整范围大，安全可靠，并且有过载保护的功能。

（3）为防止链条受热和受力的延长，在主动轮后加一套链条涨紧机构。

主要指标：

① 变频控制带速（可随时调整）

② 带速范围：50-300mm/min，常用速度为150mm/min

③ 传动故障时有停带或链带打滑报警装置

④ 链传动带：材料为304不锈钢，穿丝3.0mm，绕丝2.5mm。在高温使用中承载能力大，拉力一致，链带应力小，使用寿命长，延伸率低

⑤ 链带传动结构

链带传动结构安装在设备出口端的主体框架内，由减速机，链条，链轮传动，大胶轮因表面6-8mm的硬质橡胶，链带在运行时才能平稳，不振动，从而保证了链带在运行中的传动比，同时在大胶轮的上方设有压紧机构，使大胶轮有较大的包角，从而增加了摩擦力。具有停电手动出料装置和机械离合装置。

3、气路部分：

气路系统由浮子流量计，管路，阀门组成，在炉膛进出口四周进气的气幕帘，炉膛加热区为两侧进气，以确保产品不被氧化，并使氮气用量较小。

气路共设4路气体，两路封口，两路直接向炉膛加热段供气。操作面板分别装有氮气流量计和手动截止阀。

① 两端封口各一路气，以防止外面的空气进入炉膛。

② 工艺保护气左右二股气流，直接形成交合产生涡流受热膨胀，在炉膛内形成均匀的漩涡和正压，并向两端扩散，使被烧结的器件在均匀的气流中得到充分的保护。

③ 气压报警：气源压力小于或**工艺压力时有报警器提示，应立即检查气路排除故障。

4、冷却部分：

根据产品焊接工艺的要求，在焊接完成后进入水冷却区进行快冷，以达到出口要求的温度。

（1）采用水冷，保证冷却效果。

（2）用水压力不大于0.2MPa。

（3）用水量：大于1 m³/h，可在工作中根据器件出口温度和链带速调整用水量。

5、报警功能：

（1）**温报警：

（2）断偶报警

（3）链带停带，打滑报警

（4）缺水报警

（5）停气报警，气压低，气压高报警

三、售后服务：

1、乙方严格遵守国家有关部门规定的“三包”政策，整机设备保修期为一年，一年之内非人为造成损坏，凡属正常使用出现任何质量问题，厂家都无条件给予快速免费维修。

2、保修期内，设备如发生故障，接用户电话后2小时内给予答复，乙方为用户提供设备维修人员的技术指导，对用户的设备操作人员提供技术支持。

3、乙方为用户提供本设备的有关技术资料和使用手册。

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