真空是指给定空间内的气体压强小于该地区一个标准大气压的气体状态。真空是稀薄的气体,与大气相比,它有一系列有点,例如气体稀薄,氧气少,环境清洁,没有水气,气体分子密度小,各种气体运动无阻碍等等。利用真空环境,可以实现真空镀膜、真空输送、真空脱气、真空熔炼、抽除有害气体、空间模拟,以及化工、食品、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等等工业生产过程。由于上述的特点,在真空环境中进行某些工艺过程有着一些不可比拟的优点。
在真空状态下,气体的稀薄程度通常用压强值来表示,但在实际真空应用中,通常习惯用“压力”来代替“压强”作为气体稀薄程度的表示。现代真空技术能获得的气体压强为大气压至10-11par的真空。这是一个非常大的真空范围,而且各个真空应用部门所涉及的工作压强的范围不尽相同,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用,现今只能根据不同的工作压强范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便以及经济性的要求,有时将各种真空泵按其性能要求结合起来,以机组形式出现。
真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按工作原理,基本上分为气体传输泵及气体捕集泵。
常用的气体传输泵有:往复真空泵、旋片真空泵、定片真空泵、滑阀真空泵、液(水)环真空泵、罗茨真空泵、分子泵、喷射泵、扩散泵、油增压泵。
常用的气体捕集泵有:吸附泵、离子泵、低温泵、吸气剂泵。
目前,世界上生产真空设备的有德国的莱宝(LEYBOLD)公司、西门子(SIEMENS)公司;美国的爱德华(EDWARDS)公司;法国的阿尔卡特(ALCATEL)公司;瑞士的巴尔察斯(BALZERS)
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氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成
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