洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜**过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度**过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也*吸附于表面,同时大量半导体器件*发生击穿。对于硅片生产良好湿度范围为35—45%。
山东星月净化工程有限公司专注于净化系统工程设计,安装,施工,净化设备,净化工程配件销售安装等
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词条说明
随着经济的发展,人们对生活水平有了更高要求。作为一项有效提升服务质量的手段,净化工程广泛实行,众多净化公司如雨后春笋般出现。净化工程是一门专业性、综合性要求高、难度大的工程,对净化公司提出了较高的专业要求。 净化工程一般分为设计、施工、管理三个环节,涵盖了空态、静态、动态三个占有状态,环境受控又融合了风险评估、生产认证的概念和程序。加之洁净技术跨行业、跨专业、跨学科的特点,使之洁净室工程的难度和
山东星月净化工程有限公司是一家专业从事生物、食品、饮料、化妆品、精密仪器、生化工业洁净厂房及专业实验室、手术室等各类空调净化工程的设计、安装、施工、调试等一站式服务。销售不同规格风淋室、货淋室、洁净传递窗、**净工作台、层流罩、生物安全柜、送风口四件套、LED净化灯具、器械柜、药品柜、观片灯、书写台、洗手池等净化产品。本公司位于中国商贸物流之都-临沂,地理环境得天*厚,交通、通讯较为便利。 公司承接
1.洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。因此,在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求,控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更高别单向流洁净区的面积。 2.在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别
一、施工条件? 洁净室内不使用木质材料和其它不符合洁净标准要求材料。?各种进场材料存放在有围护设施、清洁干燥的环境中。? 彩钢板的厚度、规格尺寸、质量必须符合设计要求或合同要求,并有出厂检验报告,彩钢板的生产必须依照二次设计的拼板图和尺寸数量清单进行,生产过程中按图纸编号,吊顶板的长度不宜**过5000㎜.? 辅助材料如小五金标准件、必须符合设计要求或合同要求,有出厂合格证。? 连接用型钢的材质、
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