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时间：2020-03-05

低温泵

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力低、抽气速率大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

抽气原理

在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到较低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。

低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板来屏蔽，以减少工作冷板所接受的辐射热。

动密封多用轴封，上轴封时要细心，先检查轴封本身有无缺陷，密封面是否平整，轴封簧弹性如何，在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂，上轴封时用力要均，骨架轴封不要压偏了，偏了就会漏油、漏气，轴封簧别挤进去，没了轴封簧轴封就失效了。注意轴封与轴的同心度，有的泵是用对轮连接的，对轮的同轴性要求很严格，装配时要从轴的四面去量，保证平行一致。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个8型齿轮不相碰。54kPa的高度真空，这时凝汽器中的汽气混合物，由于压差作用冲开逆止阀，被不断地抽到混合室内，并同工作水一道通过喷射管、喷嘴和扩散管被排出。

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真空镀膜机让镀膜变得简单镀膜过程大致可分为填充、抽真空、镀制、冷却等主要工序，以及与其相关的前后工序，如清洗、开关机、检测等，使用真空镀膜机可以提高镀膜生产效率，减少劳动成本、人工成本，非常适用于大规模生产，并满足环保的要求，让镀膜变得简单。真空镀膜机有多种分类，按镀膜工艺技术可以分为蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等；按真空度可以分为低真空、中真空、高真空以及极限真空；按温度可分为低温、
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真空热处理炉的特点：水冷装置，真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置（水冷电极）、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。在这种较为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。由于真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。因此，各部件应该根据不同的情况设置水冷装置，以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的使用寿命。采用低电
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低温泵低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力低、抽气速率大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。抽气原理在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到较低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、
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真空热处理炉是近年来得到较大发展的先进热处理设备，工件是在**低气压的空间里进行加热和冷却的。它具有质量好、节能、安全和污染少等优点。真空炉的发热体用低压电，但电源电压仍为380V，操作时仍需要安全用电。真空炉制造时，应确保不漏气、不漏水。真空炉炉体和炉盖等的密封是用橡胶件，因此需要用水隔层进行冷却。若水漏到炉膛里时，炉膛温度很高，会引起炸裂。真所以真空炉装料后应关闭炉门，将炉膛抽成真空后，方