真空镀膜机真空计知识

时间：2020-01-05

　真空计：真空计是真空镀膜设备上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。

　　真空计根据其工作原理可以分为**真空计和相对真空计，**真空计可以直接测量压强的高低，相对真空计只能间接测量真空度。

　　本文重点介绍镀膜机器上面常用到的以下几个真空计：

　　点阻真空计(又叫皮喇尼真空计)：它主要由电热丝、外壳和支架构成，主要是根据在低压下，气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的。

　　上面开口处与被测真空系统相连接，热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成，两支支架引线与测量线路连接。当压强降低的时候，由于气体热传导散失的热量减小，因此当热磁加热电流稳定时候，则热丝温度就上升，热丝的电阻就增大，用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强，有以下关系：这就是电阻真空计的工作原理，此真空计的测量范围是：100-10-1帕之间，目前采用的型号是磁控放电真空计：

　　工作原理：在放电开始时，由于空间游离电子向阳极运动时，在正交电磁场作用下，电子的轨迹不是直线而是螺旋线前进，又因为阳极是框形，故电子不一定**次就碰上阳极，而是穿过阳极，然后收到对面阴极的拒斥，又复返回。这样反复多次才可能打上阳极。

　　由于电子路程大大加长，故碰撞及电离的分子数增加，使得在较低压强(10-4帕以下)仍维持放电(也称潘宁放电)。

　　目前比较多的型号有PKR251、GI-PARY放电管真空计：在玻璃管中封入两个金属电极，在其上加上数千伏的直流高电压，在一定的压强范围内(1*10*3~2*10托)内就能引起自持放电，通过放电颜色来判定其真空度。

　　目前为止，此种真空计已经很少使用，因为其误差大，容易损坏，而且寿命不长。

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