空炉(vacuum furnace)是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2~10-4)h。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热,也可用高频感应加热。较高温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊,以及陶瓷-金属封接等。
真空炉出现于20世纪30年代前后。1927年美国制成电工材料真空退火炉。1953年真空自耗电弧炉在工业得到应用。真空炉即在炉腔这一特定空间内利用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成)将炉腔内部分物质排出,使炉腔内压强小于一个标准大气压,炉腔内空间从而实现真空状态,这就是真空炉。
真空淬火(回火、退火)就是通过把材料或零件在真空状态下按工艺规程加热、冷却来达到预期性能的一种处理方法。
真空钎焊 即在真空状态下,把一组焊接件加热到填充金属熔点温度以上,但低于基体金属熔点温度,借助于填充金属对基体金属的湿润和流动形成焊缝的一种焊接工艺。(钎焊温度因材料不同而异)
真空烧结即在真空状态下,把金属粉末制品加热,使相邻金属粉末晶粒通过粘着和扩散作用而烧结成零件的一种方法。
真空加磁 主要适用于金属材料加磁处理
1)完全消除了加热过程中工件表面的氧化、脱碳,可获得无变质层的清洁表面。这对于那些在刃磨时仅磨一面的刀具(如麻花钻磨削后使沟槽表面的脱碳层直接暴露于刃口)切削性能的改善关系真空炉较大。
2)对环境无污染,不需进行三废处理。
3)炉温测定、监控精度明显提高。热电偶的指示值与炉温温度达到±1.5°c。但炉内大批工件不同部位的温差较大,若采用稀薄气体强制循环,仍可控制在±5°c温差范围内。
4)机电一体化程度高。在温度测控精度提高的基础上,工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定,按步骤实施淬火和回火。
5)能耗显着低于盐浴炉。现代先进的真空炉加热室采用优质隔热材料制成的隔热墙和屏障,可将电热能量高度集中于加热室内,节能效果显着。
真空炉即真空热处理炉,根据应用设备来区分,大概包含以下种类:
真空淬火炉、真空钎焊炉 、真空退火炉、真空加磁炉、真空回火炉、真空烧结炉、真空扩散焊炉、真空渗碳炉等。
真空炉按加热方式分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉(又称电子轰击炉)和等离子炉等。
词条
词条说明
石英软领为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成,用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温,解决了以往用保温棉存在的两大问题:一是保温棉长时间在高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度,二是手动堵塞保温棉不均匀,影响工作区温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下,不粉化,不变形,不硬化,不氧化,防震,防腐蚀。
等离子增强化学气相淀积系统(PECVD) PECVD(等离子增强化学气相淀积)设备是一种用于在基片上生成高质量SiNx和SiO2薄膜的**设备。淀积温度范围宽( 100~600oC可调),特别适用于半导体器件和集成电路的钝化,用以提高器件和集成电路可靠性。目前,它已成为微电子和光电子领域科研和生产不可缺少的设备。 产品特点: 1、膜质量高。它不同于通常使用的翻盖式单室机(易漏大气而
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