led**炉

时间：2014-10-22作者：青岛福润德微电子设备有限公司浏览：28

■ LED**炉特点   ◆ 关键件全部采用进口件，具有高可靠性 ◆ 具有可编程的升、降温功能         ◆ 具有断电报警、**温报警、极限**温报警等多种安全保护功能。 ◆ 具有高抗干扰能力 ◆ 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置    ★ 赛瑞达可为您提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统     及SiC浆推拉舟系统。
■ 主要技术参数 ◆ 可配工艺管数量：1~4管/台                                 ◆工作温度范围：200～1000℃ ◆ 恒温区长度及精度：300～800mm    800～1000℃±0.5℃ ◆单点温度稳定性：800~1000℃±0.5℃/24h ◆ 较大可控升温速度：15℃min;   ◆ 较大降温速度：15℃min


青岛福润德微电子设备有限公司专注于链式炉排,全自动扩散炉,小型真空炉,加热炉体,石棉圈,小型马弗炉等

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• 双工位卧式真空炉

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  ■ LED**炉特点   ◆ 关键件全部采用进口件，具有高可靠性 ◆ 具有可编程的升、降温功能         ◆ 具有断电报警、**温报警、极限**温报警等多种安全保护功能。 ◆ 具有高抗干扰能力 ◆ 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置    ★ 赛瑞达可

• 太阳能扩散炉

  太阳能电池扩散工艺及其设备 太阳能电池扩散工艺及其设备     技术方案是：一种太阳能电池扩散工艺，在太阳能电池扩散工艺中通控制抽气排风压力，使抽气排风压力这个参数保持稳定，抽气排风压力这个参数保持稳定，抽气排风压力的稳定导致辞磷在硅片中的注入浓度稳定，使加工后得到的硅片的方块电池保持稳定，在后道的烧结中可以匹配出高效的太阳能电池。抽气排风压力通过在机台排

• 石英领

   石英软领为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成，用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温，解决了以往用保温棉存在的两大问题：一是保温棉长时间在高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度，二是手动堵塞保温棉不均匀，影响工作区温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下，不粉化，不变形，不硬化，不氧化，防震，防腐蚀。