led**炉

时间：2014-10-22作者：青岛福润德微电子设备有限公司浏览：32

■ LED**炉特点   ◆ 关键件全部采用进口件，具有高可靠性 ◆ 具有可编程的升、降温功能         ◆ 具有断电报警、**温报警、极限**温报警等多种安全保护功能。 ◆ 具有高抗干扰能力 ◆ 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置    ★ 赛瑞达可为您提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统     及SiC浆推拉舟系统。
■ 主要技术参数 ◆ 可配工艺管数量：1~4管/台                                 ◆工作温度范围：200～1000℃ ◆ 恒温区长度及精度：300～800mm    800～1000℃±0.5℃ ◆单点温度稳定性：800~1000℃±0.5℃/24h ◆ 较大可控升温速度：15℃min;   ◆ 较大降温速度：15℃min


青岛福润德微电子设备有限公司专注于链式炉排,全自动扩散炉,小型真空炉,加热炉体,石棉圈,小型马弗炉等

• 词条

  词条说明

• LPCVD设备

  LPCVD设备维修及应用 低压化学气相淀积设备使用与维护技术 LPCVD是大规模集成电路(LSI)和**大规模集成电路(VLSI)以及半导体光电器件工艺领域里的主要工艺之一。 PCVD技术可以提高淀积薄膜的质量，使膜层具有均匀性好、缺陷密度低、台阶覆盖性好等优点，成为制备Si 3N4薄膜的主要方法。热壁LPCVD设备使用过程中出现薄膜的淀积速率、薄膜的均匀性、片内均匀性、片间均匀性不理想等问题，提

• （单管程序氧化炉）

   单管氧化炉技术方案                 （单管程序氧化炉）                &n

• 扩散炉

  扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。 控制系统 控制部分包括：温控器、功率部件、**温保护部件、系统控制。 系统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。 扩散炉网络控制 辅助控制系统，包括推舟控制装置、保护电路、电路转接控制、三相电源指示灯、照明、净化及抽风开关等。 较先进的扩散炉控制系统均已更新或升级到微

• 双工位卧式真空炉

  双工位卧式真空炉   青岛福润德微电子设备有限公司   目  录   一、          设 备 特 点 二、          设 备 结 构