楚一四甲基氢氧化铵（TMAH）浓度在线监测仪在半导体行业应用介绍

时间：2017-03-31

?四甲基氢氧化铵（TMAH）浓度在线监测仪在半导体行业应用介绍

?长沙楚一测控专业开发及生产四甲基氢氧化铵（TMAH）浓度在线监测仪（检测仪、测量仪）、四甲基氢氧化铵（TMAH）在线浓度计、TMAH在线折光仪（折射仪）、四甲基氢氧化铵浓度在线测量仪、TMAH折射仪浓度计；显影液在线浓度检测仪,显影液在线测定 ,在线TMAH浓度仪。

? 四甲基氢氧化铵（TMAH），在电子行业中广泛用作FT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程**纯清洗剂，同时也是液晶显示器中的显像液。随着电子工业日新月异的发展，PCB技术也在飞速发展。作为PCB图形成像之关键工序——显影，直接影响着线路品质及阻焊的品质，显影的品质要求不能有显影不净，不能有显影过度，不能有掉线和绿油脱落等，显影露铜点50% ~ 60%（一半显影段）。因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用。

? 例如：根据工艺要求需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净液稀释到目标浓度2.48%，需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量，已达到精确配置目标浓度显影液的目的。目前国内常用采样后分析系统测量TMAH的浓度，测量过程大概需要20分钟时间，该方式不具备实时性，过程管道的浓度变化无法及时监测到，导致调控滞后。为了提高生产量，显影液的配对效率需要提高，缩短配比的时间，需要在线实时对TMAH的浓度进行监控，完善工艺控制要求。采用折光原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求，且测量精度高。
? 四甲基氢氧化铵（TMAH）在线浓度计利用折光的原理测得溶液的折光率，折光率与TMAH溶液的浓度有较好的对应关系。通过换算从而得到溶液的实际浓度。这种测量原理稳定性好，精度高，它适用于管道安装或容器壁处的安装，以及其它等多种安装方式。

在四甲基氢氧化铵（TMAH）浓度计的优点：
?1.在线连续检测，不再需要人工频繁取样实验室检测，节省大量人力、财力
?2.消除人工检测误差，保证产品一致性
?3.连续测量，*反馈，提升产品质量
?4.提高自动化程度，相关的浓度数据可通过组网的形式与中控室连接
?5.不受溶液气泡、压力影响（与密度法相比）
CY-TMAH在线浓度传感器
产品型号	CY-TMAH-A	CY-TMAH-D
测量范围	0.0?至30.0%
分 辨 率	( Brix )：0.1%?? 温度：0.1°C
测量精度	?±0.1%??? 温度 ±0.5°C
测量温度	?5至 100°C? (自动温度补偿)
环境温度	5至 40°C
输入电源	DC 24V
关键材质	传感器壳体：SUS316L??
信号输出	DC4 至 20mA	RS-232
防护等级	IP67?? 防尘、防溅水
较高压力	< 1MPa
产品尺寸	￠99X175
选 购 件	*清洗组件CY-CL77
*CY-TMAH-D建议选配CY-MC浓度控制仪使用

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