光谱共焦测量技术采用的是LED光源
众所周知,自然界的日光属白光一种,白光不是纯洁的光,而是许多单色光组成的。光在不同介质中传播可能会有角度偏差的现象产生,而实际的白光照射下不同介质将有很多单线光的折射。光学材料(透镜)对于不同单色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波长愈短折射率愈大,波长愈长折射率愈小(这也是不同望远镜所谓的色差不同的原因),同一薄透镜对不同单色光,每一种单色光都有不同的焦距,按色光的波长由短到长,它们的像点离开透镜由近到远地排列在光轴上(不同的单色光的波长是不同的)这样成像就产生了所谓色差透镜错误。色差透镜错误使成像产生色斑或晕环。在摄影器材中,应通过特殊处理,尽量消减色差透镜错误导致的成像问题。常用的消除方法有双胶合系统与双分离系统。
混色光是由众多不同波长光线组成的,我们称之为光谱。所有不同波长的可见光重叠在一起,形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm (蓝光)到700nm (红光)。通过透镜,不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。
而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。
为了得到上述特殊的色差,需要在传感器探头内使用若干特殊透镜,用来根据所需量程将光线分解。后使用一个凸透镜,将传感器探头射出的光线聚拢在一条轴线上,形成所谓的焦点轴线。如果不使用凸透镜,传感器探头射出的光将分散开来,测量也就无法进行了。
白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱,也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。
在整个量程上,共可以得到**过30,000个测量点。这里只计算光线波长,用以产生测量信号。反射光产生的信号波峰振幅并不在信号测量依据之内。也就是说反射光的光强不会影响测量结果。 这意味着,无论有多少反射光从被测物体反射回来,测量的距离结果可能是不变的。因为反射光的光强仅仅取决于反射物体的反光程度。因此,采用ERT公司的光谱共焦传感器,即使被测物体是强吸光材料,如黑色橡胶;或者是透明材料,如玻璃或者液体,都可以进行正常可靠的测量。
词条
词条说明
ERT光谱共焦测量系统适用于3D粗糙度、尺寸测量和3D形貌测量等测量任务 广泛应用于以下微观精密测量领域: ? 玻璃(浮法玻璃在线厚度检测,3D测量) ? 微电子(粗糙度,3D测量,缺陷检测) ? 机械(粗糙度,摩擦磨损,3D测量,腐蚀分析) ? 光学镜片(粗糙度,3D测量) 光谱共焦测量技术实现在线检测测量
光谱共焦传感器原理简介 1. 一束白光穿过小孔S,照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光,每一个波长对应一个固定的距离值。 2. 当对象出现在测量区域的时候,一个特定波长的单色光正好照射在其表面,并且
ERT光谱共焦传感器 1.3 光源 CCS-100装有内部白色LED光源,LED亮度可以通过指令去修改。有两种控制模式可用:手动模式(亮度恒定)和自适应LED模式。在后一个模式中,传感器自动调节LED亮度以便优化信号电平。 1.4 可选择配件 下面的配件可以和传感器一起订购。 - DC 24V,3A 电源 - USB2.0 连
ERT光谱共焦位移传感器原理简介 1. 一束白光穿过小孔S,照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光, 每一个波长对应一个固定的距离值。 &n
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