半导体晶圆中测设备-探针台

时间：2019-03-30

晶圆测试探针台和测试机是晶圆测试环节的核心设备。探针台的主要作用是将晶圆和测试机相连接，具体过程为：探针台将晶圆逐片自动传送至测试位置，芯片的pad点通过探针、**连接线与测试机的功能模块进行连接，测试机对芯片施加输入信号、采集输出信号，并将测试结果通过传送给探针台，探针台据此对芯片进行打点标记，行程晶圆的Map图。另外，探针卡作为重要的耗材，是将晶圆的DUT板相连接的测试接口，通过探针与晶圆上每个裸片的触点相连，完成与测试机的信号传输。
探针台要求的精度定位程度非常高，因而具备比分选机更高的技术壁垒。探针台可以应用在芯片设计环节、晶圆加工过程的检测以及加工完成后的CP检测环节。**探针台的市场规模大约在5亿美元(数据来源于Gartner)，占总检测设备的6%左右。**探针台市场主要由东京精密与东京电子两家日本企业占据，两者的市场份额可以达到80%以上。

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半导体晶圆中测设备-探针台
晶圆测试探针台和测试机是晶圆测试环节的核心设备。探针台的主要作用是将晶圆和测试机相连接，具体过程为：探针台将晶圆逐片自动传送至测试位置，芯片的pad点通过探针、**连接线与测试机的功能模块进行连接，测试机对芯片施加输入信号、采集输出信号，并将测试结果通过传送给探针台，探针台据此对芯片进行打点标记，行程晶圆的Map图。另外，探针卡作为重要的耗材，是将晶圆的DUT板相连接的测试接口，通过探针与晶圆上每
晶圆测试自动探针台
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本特性。半自动型 chuck尺寸800mm/600mm X,Y电动移动行程200mm/150mm chuck粗调升降9mm，微调升降16mm 可搭配金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6～8颗显微镜X-Y-Z移动范围2"x2

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