大气常压与真空等离子体清洗机设备区别

时间：2020-01-05

大气常压等离子清洗机又称常压射流等离子处理机，即在普通大气的环境下进行等离子清洗。大气等离子清洗机由等离子发生器、气体输送管及等离子处理工作站等部分组成。等离子发生器产生高压高频能量在喷头钢管中被激活和被控制的辉光放电中产生了低温等离子体，借助压缩空气将等离子体喷向工件表面，当等离子体与被处理物体表面相遇时，产生了化学作用和物理变化，表面得到了清洁，去除了碳化氢类污物，如油脂、辅助添加剂等，根据材料成分，其表面分子链结构得到了改变。建立了羟基、羧基等自由基团，这些基团对各种涂敷材料具有促进其粘合的作用，在粘合和油漆应用时得到了优化。在同样效果下，应用等离子体处理表面可以得到非常薄的高张力涂层表面，不需其他机械、化学处理等任何强烈作用成分来增加粘合性。

上图常压等离子清洗机（即等离子处理机1.原理图2.设备外观3.放电效果图

真空等离子清洗机由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-50Pa 的真空度，再在高频发生器交变电场的作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质*四态），其显着的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的，并且得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。真空等离子机所有的参数均同电脑设置和数据记录，是自动化程度高，具有高精度的控制装置。

上图真空等离子清洗设备：1.原理图2.外观图3.放电图

大气常压等离子清洗设备，如今应用多的就是手机行业---手机玻璃表面活化处理，底板点胶前处理，封装前端处理，手机壳表面喷漆前活化处理等等。一般的手机工厂每日几千到几万的产能，就必须要有快速的活化处理工艺，大气等离子清洗机就是为此而生的。无论配合在三轴平台，传输机还是装在整条流水线上，大气等离子清洗机都能快速使被处理材料其中一个表面达到很好的活化效果。

真空等离子清洗机它是以其高性能，高质量，还有过硬的品质，以及安全的产品为特点，处理效果比较精密全面，很多的产品它本身的材质问题，所以不能使用像大气等离子设备那样的温度相对来说比较高一点的等离子设备，这样的时候可以选择真空等离子设备。

简尔言之：大气常压等离子清洗机快速量产，真等离子清洗机的技术比较精密全面
其中区别详细如下
一、由于常压等离子的喷嘴中是直喷出的离子，这种情况由喷嘴的结构间接的改变了离子的运动方向（直接面对被处理材料）。从而使大气等离子在流水线上只能处理一个表面，这也是与真空等离子清洗大的区别之一。真空等离子清洗机在工作中，腔体内部的离子是不定向的，只要材料在腔体裸露出的部分，不管是哪个面哪个角落都可以清洗得到。

二、在使用气体方面，大气常压等离子清洗机工作时只需要接入压缩空气，当然想效果好直接接入氮气。而真空型等离子清洗机在气体上会有多的选择，并且可以选择多种气体进行匹配对材料表面氧化物、纳米级别微生物的去除有着强的改善。在这里要强调的是：大气型通入气体的目的主要是为了活化，侵润性增强。而真空型通入气体的目的是为了增强蚀刻效果，去除污染物，去除**物，侵润性增强等。显然气体的选择范围广，真空等离子清洗的工艺会应用得为广泛。

三、离子产生条件，这个比较直观的就可以看出，大气型依赖接入气体，气体压力要达到0.2mpa左右才可以产生离子。而真空型则依赖于真空泵，产生离子之前，即使不接入任何外接气体，要将腔体内部的真空度抽到25pa以下才能产生离子。

四、温度。大气等离子清洗机虽然处理材料几秒之后的温度在60°-75°左右，但这个数据是按照喷枪距离材料15mm，功率在500W，配合在三轴速度为120mm/s来测的。当然功率，接触时间，处理的高度都会对温度有所影响。特别注意的是：大气等离子清洗机喷枪工作时的喷出的“火焰”分为内焰和外焰，我们清洗时都是拿外焰去洗，内焰在喷嘴里面，从外面是看不到的。但是如果在喷出“火焰”的情况下长时间对着某一个点不运动进行处理很容易对表面产生灼烧。所以大气等离子的温度要在实际工况下才能测得具体数值。
而真空型等离子清洗机就没那么复杂，按电源频率划分，40KHz和13.56MHz为例：通常情况下材料放入腔体内工作，频率为40KHz一般温度为65°以下，再者机器内部装有强冷风扇，处理时间不长的话，材料表面温度都会跟室温一致。频率为13.56MHz的就会低，通常情况是30°以下。所以处理一些受热易发生形变的材料，低温真空型等离子清洗机的是在再适合不过了。

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词条
词条说明
等离子清洗机提高金属表面的亲和力
等离子清洗机的表面处理适用于对接合前的处理，如金属、玻璃等材料，在生产过程中其粘合性不够，此时可利用等离子体清洗机进行表面活化处理，处理后的接合制品粘合性较强，结合力较好，也不会出现脱落、裂纹等现象等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆
等离子清洗机的活化作用，增强附着力
等离子清洗机表面活化增强附着力如以下的应用范围：等离子清洗机应用于去除油脂、油、氧化物、纤维，去除硅氧树脂（LABS-free），邦定、焊接、粘接前预处理，金属部件涂装前预处理等。等离子清洗机对电子行业的手机壳印刷、涂覆、点胶等前处理，手机屏幕的表面处理；等离子清洗机对航空航天电连接器的表面清洗；★粘接前、涂装前、印刷前的预处理，粘接、锡焊、电镀前的表面处理。★表面活化，生物材料的表面修饰，电线
等离子清洗机在手机行业中的应用
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理设备，等离子刻蚀机，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果. 等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的*四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机
等离子清洗机增强粘接力度
等离子清洗机plasma处理是有效的对表面进行清洗、活化和涂层的处理设备，可以用于处理各种材料，包括塑料、金属或者玻璃等。等离子处理机对表面清洗，可以清除表面上的脱模剂和添加剂等，而其活化过程，则可以确保后续的粘接工艺和涂装工艺等的品质，对于涂层处理而言，则可以进一步改善复合物的表面特性。使用等离子清洗机可以根据特定的工艺需求对材料进行表面预处理。等离子清洗机Plasma Cleane