常见的真空炉真空测量方法

时间：2020-06-11

常见的真空炉真空测量方法

一、压缩式真空计

压缩式真空计，上接一根*封闭的毛细管，下端与“Y”形管的一端口相接，“Y”形管下方接汞储存器，使用时，将真空系统与“Y”形管口相接，转动真空计，是汞压缩气体，再转至垂直位置读取“测量毛细管”与“比毛细管”的液面差，即为所测真空度。压缩真空计优点在于测量的准确性高，可作为真空计量的标准器。他的缺点是使用不够方便，反应缓慢，不能连续测量。由于压缩式真空计是根据气体定律制作的，只能测量*性气体分压强，而不能测量蒸气压。在蒸汽分压较大的真空系统中，压缩式真空计的读数不能标志其真空度。

二、热导式真空计

利用真空系统中分子数与传导热量有关的原理制成热导式真空计，电阻真空计和热偶真空计两种。通过电流时温度升高，周期气体被加热，规管管壁温度低，依靠周围存在的气体分子传导热量，电阻丝温度变化，即反应了存在气体分子多少。直接测量电阻丝的温度很不方便，由于电阻丝的电阻值与温度有关，故可用电桥测出其电阻数值。热导式真空计的优点是：1，可测量总压强；2，能连续测量；3，使用方便，可用导线进行远距离测量；4，结构简单，易于制造；其缺点是：1，有热惯性，当压强变化很快时，反应滞后；2，外界温度对测量结果有一定的影响；3.电阻丝表面情况改变，可造成零点漂移，影响准确读数。

三、电离真空计

是以气体的电离现象为基础来测量真空度大小的，可分为热阴电离真空计和磁控放电真空计两类。当在各加上一定电源时，灯丝处于白炽状态，发出热电子。这些电子与管内气体分子碰撞，使气体电离，产生整离子。证离子为离子收集，形成电流，随着压强的变化，电流也有变化。测量电流的大小，即可测出真空。热阴电离真空计的优点是：1，可测总压强；2，可连续测量；3，测量范围广，灵敏度很高；4，电离计规管体积小，可直接连通要测位置；5，对机械振动不敏感，惯性小；6，校准曲线是直线性；其缺点是：1，读数与气体种类有关，不同气体要做不同曲线；2，灯丝是白炽状态，真空系统突然漏气或压强突然升高，会使灯丝损坏；3，气体被吸附在阴和收集表面，易产生测量误差；4，在低压强时，规管外壳与电放电现象影响读数；

磁控放电真空计也是利用气体放电原理，但在规管中没有热阴。规管中有两个平行阴，两个平行板中间有个框型电。整个规管的电部分都在磁场之中。由于外加磁场的作用和阳的框型，容易使电子穿越，造成电子在空间做来回多次的螺旋运动。增加电离的效果，真空计的灵敏度则随之提高。其优点是：1，没有热阴存在，不会因漏气而损害灯丝；2，测量总压强，可连续测量；3，放电电流大，电路使用仪表简单；4，结构牢固，对外界不敏感；其缺点是：在压强条件下，它的灵敏度不及热阴电离真空计高，对不同气体也需要不同校准曲线。

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