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单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备,全称为单晶硅直拉法生产炉,简称为单晶炉,
单晶炉是一个较其复杂的机构,它不仅有加热熔硅、保温和恒温、等速平稳旋转以及等速提拉的功能,而且还有控制单晶硅等径生长、保证生产出的单晶硅不出现位错缺陷以及良好的真空度和氩气保护的功能。
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