真空专业知识

时间：2021-09-13

1. 真空
在*空间内，低于环境大气压力的气体状态。

2. 真空度
表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示。

3. 真空区域划分
低真空 105Pa-102Pa
中真空 102Pa-10-1Pa
高真空 10-1Pa-10-5Pa
**高真空 10-5Pa-10-9Pa
较高真空 <10-9Pa

4. 全压力
混合气体中所有组分压力的综合。

5. 分压力
混合气体中某一组分的压力。

6. 标准环境条件
温度为 20℃，相对湿度为65%，大气压力为1 个标准大气压1atm =101325Pa。

7. 气体的标准状态
温度为 0℃，压力为1 个标准大气压1atm =101325Pa。

8. 平均自由程
一个分子与其它气体分子每连续两次碰撞走过的路程，叫自由程。相当多的不同自由程的平均值，叫
平均自由程。

9. 粘滞流
气体分子的平均自由程远小于导管较小截面尺寸的流态。因此，流动取决于气体的粘滞性，粘滞流可
以是层流或滞流。

10. 分子流
气体分子的平均自由程远大于导管截面较大尺寸的流态。

11. 中间流
在粘滞流和分子流之间状态下气体通过导管的流动。

12. 流量
在给定时间间隔内通过某一截面的气体量除以该时间。

13. 吸附
固体或液体对气体或蒸气的捕集现象。

14. 解吸
被材料吸附的气体或蒸气的释放现象。

15. 去气
气体从材料中人为的解吸。

16. 放气
气体从材料中自然的解吸。

17. 渗透
气体通过固体阻挡层的现象。

注：只列出常用真空技术术语，如果需要其它术语的解释，请查阅真空标准 GB/T3163-2007。

词条
词条说明
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