日本ALNAIR硅晶圆厚度传感器

时间：2021-11-30

作者：天津瑞利光电科技有限公司

天津瑞利光电科技有限公司优势经销日本ALNAIR硅晶圆厚度传感器

• 品牌名称：ALNAIR

• 规格型号：SIT-200

产品介绍

用于硅晶片的全光学非接触式厚度传感器

高动态范围，能够测量混乱的表面

能够在湿蚀刻过程中进行原位测量

SIT-200使用高速扫频可调激光器（而不是宽带光源）来探测被测晶片。这样就可以对每个波长进行更高功率的测量，从而实现高动态范围。即使在未抛光的晶片上，例如在湿蚀刻期间/之后，也可以进行厚度测量。硅晶圆厚度传感器由准确调谐的波长扫描激光源，聚焦传感器和光接收器（PD）构成。波长扫描光聚焦在目标上，并且在通过传感器后，PD会检测到从目标表面反射回来的干涉图样。

产品参数

测量对象：硅片

可测厚度：10~500（n = 3.5）μm

光源：波长扫描激光源

（1515~1585）nm

光输出功率：0.6，激光等级1 mW

引导光源：红色LD，激光等级1M

测量时间：min.20 ms

重复性：小于0.1（3σ）μm

监控输出：干扰信号（电气）

PC接口：以太网

电源：AC 100-240（50/60 Hz）V

尺寸（宽x高x深）：364 x 147 x 391 mm

重量：9.0 kg

天津瑞利光电科技有限公司于2016年成立，坐落于渤海之滨天津，地理位置得天*厚，交通运输便利，进出口贸易发达。凭借着欧洲的采购中心，我们始终为客户提供欧美工业技术、高新科技等发达国的光电设备、光学仪器、机电设备及配件、电气成套设备、工业自动化控制设备产品，同时拥有多个品牌的授权经销和代理权。

（价格仅供参考商品为进口商品，受汇率关税运费等不确定因素，不支持网上订货，订货前请电话确认价格）

词条
词条说明
美国THORLABS离轴抛物面反射镜-MPD00M9-P01
天津瑞利光电科技有限公司优势经销美国THORLABS离轴抛物面反射镜MPD00M9-P01产品型号：MPD00M9-P01产品介绍 Thorlabs的离轴抛物面(OAP)反射镜的反射表面是母抛物面的一部分。它们可以无色差地聚焦准直光束或准直发散光源。它们的离轴设计能够在空间上将焦点从光路其他部分中分离出来。其反射设计消除了透射光学元件会引入的相位延迟和吸收损耗，并且十分适合用于飞秒脉冲激
加拿大CorActive光纤激光器~CFLP-100-1.0
天津瑞利光电科技有限公司优势加拿大CorActive光纤激光器CFLP-100-1.0品牌介绍：CorActive成立于1998年，致力于为工业，电信，传感（LIDAR）和科学市场的客户应用开发特殊光纤（SOF）产品和光纤激光解决方案.提供广泛的产品选择，包括双包层（Er：Yb，Yb，Er，Tm等），中红外传输，掺b单包层，对紫外线敏感和衰减的光纤以及光纤激光器模块。适用于许多行业的广泛应用。公司
美国OPOTEK可调激光系统-Phocus MOBILE
天津瑞利光电科技有限公司优势经销美国OPOTEK可调激光系统Phocus MOBILE产品型号：Phocus SE MOBILE/Phocus HE MOBILE产品介绍：Phocus MOBILE 是一个全功能、隔振、完全集成的可调激光系统。重型减震脚轮和完全集成的单机柜设计使Phocus MOBILE成为在临床/医院环境中重新定位系统的理想选择。该系统是光密封的，并通过互锁光纤束提供波长可调输
德国VISICON 3D传感器~dPP3D系列
天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国VISICON 3D传感器dPP3D系列产品型号：dPP3D-Sensor关键字：VISICON 3D传感器dPP3D-Sensor关键字描述：产品介绍：VisiCon dPP传感器是车轮定位行业的革命性新系统：该传感器结合了其他多线传感器的优势，高测量精度，传统激光传感器的优势以及对环境光的不敏感性。此外，VisiCon dPP以立体测光法