天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国Cyber Technologies厚度测量仪CT 350T
产品型号:CT 350T
关键字:Cyber Technologies厚度测量仪CT 350T
关键字描述:运动系统使用快速,准确的磁性直线电机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器,可以将检查时间更小化。
产品介绍:
快速准确的双面扫描系统
测量速度:2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移动300 mm(200 mm),横向分辨率为50 nm,电动z轴分辨率为20 nm
2D轮廓,3D地形图和3D厚度图
扫描范围大
x,y,z分辨率,行程为max.300 mm(200 mm)
零件厚度max.80 mm
彩色白光传感器
高分辨率离轴相机
CT 350T是一款非接触式双面光学轮廓仪,具有300毫米x,y扫描台。**部和底部传感器安装在行程为100 mm的高精度Z轴上。双面自动对焦功能甚至可以测量严重弯曲或弯曲的零件。两个传感器均收集与x,y编码器信号同步的高度数据,并轴向对齐以确保精确的差分厚度测量。该软件同时从**部和底部表面生成2D轮廓和3D贴图,并计算相应的总厚度轮廓或贴图。
运动系统使用快速,准确的磁性直线电机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器,可以将检查时间更小化。通过在平台孔上安装转接板,该系统可以用作标准光学表面轮廓仪,使CT 350T成为功能广泛的表面和厚度测量系统。该系统也有较小的版本,如CT 250T,具有200 mm的行程,非常适合8英寸晶圆或基板和太阳能晶圆。
参数:
集成系统控制器:包括运动控制,传感器控制器(4 kHz),电源,工作站的USB接口
工作站电脑:查询当前规格,22英寸宽屏显示器
连接方式:以太网,DVD驱动器,USB(正面和背面),并行端口,键盘,鼠标,DVI和模拟视频输出
电源要求:100-240 V AC,50-60 Hz,2.0 A(240 V),5 A(100 V)
测量表面尺寸:300 x 300 [mm](12 x 12 [in])
线性编码器分辨率
X,Y:50 nm(2μin)
Z:5 nm(0.2 µin)
横向分辨率:1微米(载物台分辨率:50 nm)
X和Y的行程限制(电动):350 x 300 [mm](13.8 x 12 [in])
Z行程限制(电动):100 mm (4 in)
平台上的负载:max.10 kg
可用的传感器:共焦白光传感器
工作温度:18°-20°C(64°F – 68°F)
尺寸(长X宽X高):1290 x 1082 x 1425 [mm](约43 x 51 x 56 [in])
重量:650 kg (1.433 lbs)
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