等离子体清洗机能够有效的改善高分子材料的表面性能,包括润湿性、粘合性、染色性、印刷性、防静电性等等
等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。等离子清洗机能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力
等离子体清洗机不分处理对象,可以处理各种各样的材质,无论是金属、半导体、氧化物,还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可以使用等离子体清洗机来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且等离子清洗机还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗;
等离子清洗机在完成清洗去污的同时,还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等
等离子清洗设备的原理:等离子体和固体、液体或气体一样,是物质存在的状态,等离子清洗设备利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理,从而达到清洁、改性等目的,还可以根据需要改变某些材料的表面特性。等离子体清洗机作用于材料表面,重组材料表面的分子化学键,形成新的表面性质,可以增强材料的附着力、相容性、渗透性。
词条
词条说明
等离子清洗机用于晶圆级封装的预处理,去除表面矿物质,减少氧化层,增加铜表面粗糙度,plasma等离子清洗机能通过等离子产生的自由基将高分子聚合物去除干净,包括在很深且狭窄尖锐的沟槽里的聚合物。而且能将很深洞中或其他很深地方将光刻胶的残留物去除掉.等离子清洗机的表面处理能够去除表面光刻胶和其余**物,也可以通过等离子活化和粗化作用,对晶圆表面进行处理,能有效提高其表面浸润性。相比于传统的湿式化学方法
等离子清洗机在光电子领域的应用:等离子刻蚀,等离子沉积,原子层沉积广泛用于光电器件制造,包括VCSEL,激光二管,微透镜,波导和单片微波集成电路(MMIC)等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和
随着电子信息产业的发展,特别是通信产品、电脑及部件、半导体、液晶及光电子产品对**精密工业清洗设备和高附加值设备的比例要求逐步增大,等离子表面处理机设备已经成为很多电子信息产业的基础设备。并且随着行业技术要求的不断提高,等离子清洗技术将在国内有加广阔的发展空间。 等离子表面处理机设备,等离子刻蚀机的优点: 1.改性仅发生在材料的表面层,不影响基体固有性能,且处理均匀性好。 2.作用时间短(几秒到
等离子清洗机广泛应用于LED、LCD、LCM、手机配件、外壳、光学元件、光学镜头、电子芯片、集成电路、硬件、精密部件、塑料制品、生物材料、医疗器械、晶圆等表面进行清洗活化处理。等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子
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