半导体行业中气体检测仪的应用

时间：2022-06-09

半导体行业中气体检测仪的应用

智能手机、平板电脑、游戏机、导航系统、纯平显示器，这些以及其他很多高科技产品由于半导体产业才得以存在。在半导体芯片生产线制程工艺中，会使用到特种工艺气体，也会产生大量危险性气体，需要使用气体检测仪对空气中有毒有害气体含量进行检测，防止因气体泄漏，导致危险发生。

（东日瀛能 SK/MIC-800-GAS-Y 便携式气体检测仪）

特种工艺气体

目前，应用于半导体产业的特种气体有110余种，常用的有20-30种。

按其危险性分类可分为：惰性气体、易燃气体、毒性气体、腐蚀性气体、氧化性气体、低温气体。

1惰性气体

不可燃气体有N2、Ar、He等，它们具有窒息性，即取代肺中的氧气后能让人窒息而死。

2易燃气体

易燃气体有C2H2、H2、CH4、SIH4、PH3、NH3等，它们具有窒息性，可燃性，其中有些气体如H2、CH4、SIH4、PH3还具有爆炸的可能性。

3毒性气体

毒性气体有AsH3、PH3、COCL2等,它们的毒性对身体有害，有的可能造成人员中毒死亡。中毒途径有吸人、吸收(通过皮肤)、吞食、注射(通过伤口)。

4腐蚀性气体

腐蚀性气体可分为低腐蚀性气体如HF、BCL3、和高腐蚀性气体如HCL、BF3、二氯甲烷(DCS)、三氯甲烷(TCS)及三氯化氯(CLF3)等，它们具有摧毁人的生理组织以及腐蚀设备的危害。

5氧化气体

氧化性气体有O2、N20等它们具有助燃性、高反应性。

6低温气体

低温液体是指在常压下沸点低于-240，例如：液氧、液氩、液氮、液氢、液氦。它们的低温可能会引起冻伤，以及引起周围物品的损伤危险，包括过冷、过大的体积膨胀。

（东日瀛能 SK-7500-GAS-Y 固定污染源废气气体在线监测预处理系统）

废气

半导体芯片生产过程中，会产生大量的有毒有害气体

主要包括：酸碱废气和**废气两类。

酸/碱废气包括：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

**废气包括：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；

主要危害：

半导体芯片生产线的切题危害，主要是器件清洗等表面处理过程中因使用一些化学药剂（如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他**卤化物）挥发造成的，以及整机装配过程中产生的粉尘，会造成人群慢性或急性中毒。

检测仪器

东日瀛能SK/MIC-600-GAS-Y固定式可燃有毒有害气体浓度检测仪与SK/MIC-800-GAS-Y便携式可燃有毒有害气体浓度检测仪采用进口传感器，抗中毒，高稳定性高精度，可实时在线监测其浓度，自带显示与声光报警。固定式自带4-20MA、RS485以及开关量输出，可定制无线传输数据，高低报警值自由设置，当气体浓度**标时，自动发出85dB以上的报警声响，联动排气扇等设备，做出相应的防护动作。精度高、稳定性强、误差率低；配备工业级铝合金防护外壳，坚固耐用。

（东日瀛能 SK/MIC-600-GAS-Y 固定式气体检测仪）

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