Heimann Sensor真空传感器HVS 系列

时间：2022-08-19

产品型号：HVS vac04

关键字：Heimann Sensor真空传感器HVS系列

关键字描述：HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。

产品介绍：HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。硅批处理技术可实现小型化和低成本大批量生产。特殊要求可以从1E-5mbar到1E-2mbar的标准测量范围扩展到1E-1mbar。Heimann真空传感器HVS是微型皮拉尼（Pirani）型传感器，基于薄微机械膜上的加热电阻器结构，传感器采用小巧耐用的TO型金属外壳。

参数：

参数	HVS Vac03g	HVS Vac03k	HVS Vac04	单位
外壳	TO8	TO39	TO39（单个） TO8（双）
芯片尺寸	5.2x5.2	4.0x4.0	1.2x1.2	mm2
传感器电阻RP（典型值）	8.5	8.5	1	kOhm
片上参考电阻RK（典型值）	8.5	8.5	1	kOhm
电源电压U0 (max.)	3.5	3.2	4（1..1000 mbar） 2（p <1 mbar）	volt
工作温度	-20..120			°C
储存温度	-40..120			°C

4007651288

词条
词条说明
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