Andrew无损检测工程公司案例—— Andrew NDT和Galil合作大幅削减晶圆生产成本

时间：2022-09-15

作者：上海锐放自控技术有限公司

Andrew无损检测工程公司案例——

Andrew NDT和Galil合作大幅削减晶圆生产成本

Andrew无损检测公司和Galil结合了多项技术，可为半导体行业晶圆生产的关键工序减少百万美元成本。新方法*复杂的机械结构即可提供准确、稳定的读数。

集成电路所用的晶圆在生产过程中，必须在其上沉积一层非常薄的薄膜。到目前为止，由于需要在不破坏晶圆本身的情况下测量这些薄膜沉积物，生产300毫米的晶圆一直颇具挑战。

一些复杂的计量设备可用于测量这些关键沉积物，其成本高达100万美元。其他方法则是使用热波，但这方法不够稳定。

Andrew无损检测公司获得**的新方法通过一种特殊的电容探头解决了这两个难题，该探头*实际接触晶圆即可测量薄膜沉积。这样即可以防止对晶圆造成任何损坏，也同时消除了对复杂机械和高昂校准的需求。由此生产的机器坚固耐用且易于制造。

新的电容技术不依赖于机械结构，而是电容传感器与晶圆之间的精确距离。晶圆位于距离传感器0.1英寸至0.001英寸的位置。Galil四轴PCI总线控制器DMC-1840将每个晶圆沿xyz和θ轴移动到传感器，能够精准定位每个晶圆，精度达到±0.5微米。

Andrew无损检测工程公司..

当晶片就位后，电磁场会辐射到薄膜层中，然后薄膜层将电磁场反射回传感器。Galil控制器接收到来自传感器的模拟量反馈。将这些数据与精确的位置和能量测量值进行对比，可以精确地计算出薄膜的厚度。

Andrew NDT之所以选择Galil控制器不仅由于其精确性，而且还因为其可靠性。使用Galil控制器进行测试的机器实现了高达100000个周期的无故障运行。Andrew的工程师还发现Galil语言简单易懂，可方便的将接口写入他们现有的软件。

Andrew系统当前使用的是步进电机，但未来该系统将使用伺服电机来提高速度和平滑度。步进电机的加工速度为每小时200片晶圆。伺服电机将使速度加倍，达到每小时400片晶圆。

使用Galil控制器进行测试的Andrew NDT计量设备实现了高达100000个周期的无故障运行

Andrew 无损检测工程公司

加利福尼亚州摩根希尔

18561737921

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