贵金属靶材是可以回收再利用的,在加程中打穿的靶材或残料什么都是可以回收再利用的。比如金靶材、银靶材、钯靶材等都可以回收再利用。以ITO银靶材为例,生产加工时银靶材会被打穿,产生的丝状残料这些都是可以回收再利用的,废料上会沾染少量的铟,说是氧化用的,这种铟元素处理一下就可以了。所以含金、银、钯、铂、铑这些贵金属的靶材都可以回收再利用的,还有合金靶材之类的。
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陶瓷靶材是比较脆的靶材,通常陶瓷靶材都会绑定背板一起使用.背板除了在溅射过程中可支撑陶瓷靶材,还可以在溅射过程中起到热传递的作用.陶瓷靶材的种类很多,应用范围广泛,主要用于微电子领域,显示器用,存储等领域.陶瓷靶材作为非金属薄膜产业发展的基础材料,已得到**的发展.陶瓷靶材的种类及各自应用按应用来分,可分为半导体关联陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、磁记录陶瓷靶材、光记录陶瓷靶材、**导陶瓷靶材、巨磁电阻陶瓷
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(一)粉末制备粉末冶金较核心的竞争力就是粉体,能够独立生产高品质稳定的粉体的公司,会在未来占有一席之地。(二)大尺寸烧结工艺ITO靶材的另一个难点就是烧结工艺,精准的烧结工艺是烧结高品质靶材的关键。烧结工艺细分为真空热压法、热等静压法、常压烧结法。目前高端显示器用镀膜靶材主要采用常压烧结法,性价比高。(三)成本投入较大ITO生产中需要使用非常多的大型设备,如冷压机,大型模压机,烧结炉,加工设备及绑
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