ITO靶材简介

时间：2022-09-18作者：东莞市鼎伟新材料有限公司浏览：1537

      氧化铟锡(英文全称为Indium Tin Oxide，简称“ITO”)，由氧化铟和氧化锡粉末按照一定比例混合后，经过一系列的生产工艺加工成型，再高温烧结形成的黑灰色陶瓷半导体材料。

      氧化铟锡作为一种n型半导体材料，具有高的导电率、优异的可见光透过率、较强的机械硬度和良好的化学稳定性，主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、**发光二极管、太阳能电池、抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀、各种光学镀膜等。

      ITO靶材是溅射靶材中的一种，主要通过磁控溅射将ITO靶材气化，溅镀到玻璃基板或柔性**薄膜上，制造成ITO薄膜，后者为透明导电氧化物薄膜，厚度一般为30-200纳米。




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