用于半导体加工的**精密XY真空平台。

时间：2022-10-21作者：上海锐放自控技术有限公司浏览：180

nanomotion用于半导体加工的**精密XY真空平台。

行程**过500mm，编码器分辨率为0.1nm，定位精度为±2nm。10小时以上定位稳定性达到1nm。


上海锐放自控技术有限公司专注于控制器,磁栅尺,光栅尺等, 欢迎致电 18561737921

• 词条

  词条说明

• 较适合压电效应的应用

  较适合压电效应的应用由于压电材料的固有特性，有许多应用从它们的使用中获益：高压电源该领域应用的一个例子是电点烟器，按下按钮可使弹簧锤撞击压电晶体，从而产生足够高的电压，使电流流过小火花隙，加热并点燃气体。大多数类型的燃气燃烧器和燃气灶都有内置的压电式喷射系统。传感器压电传感器的工作原理是，将物理尺寸转化为力，作用在传感元件的两个相对面上。检测声音形式的压力变化是较常见的传感器应用，这见于压电麦克风

• 意大利GIVI光栅尺/磁栅尺应用——可再生能源

     Givi Misure成立于1979年，生产玻璃/钢带光栅尺，磁栅尺，以及旋转编码器。GIVI位于意大利工业重镇米兰，并于1993年获得米兰科技创新奖，于1997年获得ISO9001认证。      GIVI传感器已在可再生能源领域应用多年。无论是光伏还是大型太阳能热电厂，GIVI传感器都确保光伏板和聚光镜在先进

• 光栅尺工作原理

     光栅尺，也称为光栅尺位移传感器或光栅尺传感器，是通过利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中，可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。例如，在数控机床中常用于对刀具和工件的坐标进行检测，来观察和跟踪走刀误差，以起到一个补偿刀具的运动误差的作用。光栅尺工作原理以透射光栅为

• 光栅尺的概念

        光栅尺，也称为光栅尺位移传感器（光栅尺传感器），是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中，可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。例如，在数控机床中常用于对刀具和工件的坐标进行检测，来观察和跟踪走刀误差，以起到一个补偿刀具的运动误差的作用。光栅尺按照制