压电陶瓷中的压电效应将电场转化为机械应变。在特殊的电激励驱动和压电陶瓷电机的陶瓷几何结构下,以较近的频率接近激发纵向和横向弯曲振荡模式。纵向延伸模式和横向弯曲模式的同时激励产生了陶瓷边缘的小椭圆轨迹,从而实现了双模驻波电机。
通过将陶瓷边缘耦合到精密工作台上,将一个合力的驱动力施加在工作台上,导致工作台移动。在频率远**平台的机械共振的频率上,驱动力的周期性特性允许在无限行程中连续平稳地运动,同时保持压电器件的高分辨率和定位精度。行程可以是直线的,也可以是旋转的,这取决于耦合机构。
闭环伺服控制可以采用标准的现货伺服控制器,也可以采用特定的伺服控制器,在20 kHz伺服速率下提供全PID控制。此外,电机可以在驱动模式下运行。
在不施加驱动电压的情况下,陶瓷板是静止的,并在台上产生保持力矩。与任何其他制动装置不同,纳米运动电机的保持力矩不会引起任何位置转移。
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由Nanomotion设计和制造的机载聚焦机构,用于获取目标
由Nanomotion设计和制造的机载聚焦机构,用于获取目标。受到飞行冲击和振动的期间,能够保证亚微米级定位和定位稳定性。Nanomotion的团队具有丰富的工程资源,拥有**过100多年的精确运动控制经验。可靠性的真正衡量标准是在Nanomotion设计和制造的系统上评估我公司电机的性能。
1、控制各条指令执行的顺序2、生成实现指令要求的各种操作控制命令,控制有关部件完成指令规定的功能3、处理运行程序过程中的异常情况,如运算结果溢出、数据校验出错以及输入输出中断请求等随机操作4、向全机提供统一的时序控制信号,协调各部件操作。[1]数据缓冲由于I/O设备的速率较低而CPU和内存的速率却很高,故在控制器中必须设置缓冲器。在输出时,用此缓冲器暂存由主机高速传来的数据,然后才以I/O设备所具
nanomotion用于半导体加工的**精密XY真空平台。行程**过500mm,编码器分辨率为0.1nm,定位精度为±2nm。10小时以上定位稳定性达到1nm。
光栅尺位移传感器主尺安装将光栅主尺用M4螺钉上在机床安装的工作台安装面上,但不要上紧,把千分表固定在床身上,移动工作台(主尺与工作台同时移动)。用千分表测量主尺平面与机床导轨运动方向的平行度,调整主尺M4螺钉位置,使主尺平行度满足0.1mm/1000mm以内时,把M2螺钉彻底上紧。在安装光栅主尺时,应注意如下三点:(1) 在装主尺时,如安装**过1.5M以上的光栅时,不能象桥梁式只安装两端头,尚需在
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