WOP-激光微加工一体化研发平台-FemtoLAB

时间：2023-05-26

作者：天津瑞利光电科技有限公司

产品名称：WOP-激光微加工一体化研发平台-FemtoLAB

产品型号：FemtoLAB

产品介绍：FemtoLAB 是一款飞秒激光微加工工作站。需要为各种任务定制解决方案的科学实验室和研发部的好选择。FemtoLAB 激光工作站提供亚微米分辨率的组合激光微加工工艺，可执行多种应用。

性能特点：

制造具有亚微米分辨率的复杂物体

高速高精度微加工

光束传输和功率控制效率高

工业级飞秒激光器

高性能检流计扫描仪

物体运动与激光脉冲时空同步

*特的软件界面控制所有硬件单元

参数：

产地：立陶宛

推荐材料：所有材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。

激光：高功率**短脉冲红外、绿光、紫外激光

样本量：兼容较大 160 mm x 160 mm 的设计

较小特征尺寸：200纳米

定位系统：XYZ 机械轴，定位精度 +- 0.3 μm，具有连续晶圆级图案化

扫描系统：适用于所有激光波长的振镜系统

样品处理：手动与自动对齐

尺寸（长 x 宽 x 高）：1500 × 1350 × 1400mm

重量：1100kg

电源：2x 220 VAC, 16 A

词条
词条说明
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