Layertec的表面光洁标准的说明

时间：2023-12-13

作者：深圳维尔克斯光电有限公司

此文就讲述了镀膜镜片在ISO 10110标准下的镜片表面质量/表面公差(Surface Form Tolerances)和

表面缺陷(划痕)/表面光洁度(Surface Imperfection Tolerances)的含义，句法分析和实例。

Layertec对比了MIL标准和ISO 10110标准，

较终选择更为合适和更好理解的ISO 10110标准。

Da = RMS（旋转变异部分）

上图只显示了三维光学表面的剖面图

句法结构分析Syntax：

3/A(B/C)RMSt<Dt; RMSi<Di; RMSa<Da; λ=E

- A=Sagitta误差(弧矢差)=^较佳球面的PV；[纳米nm]或[光圈fringes]

- B=不规则度；[纳米nm]或[光圈fringes]

- C=旋转对称不规则度；[纳米nm]或[光圈fringes]

- Dt=sagitta误差的RMS；[纳米nm]或[光圈fringes]

- Di=不规则度RMS；[纳米nm]或[光圈fringes]

- Da=旋转对称不规则度RMS；[纳米nm]或[光圈fringes]

- E=边缘间距的参考波长；[纳米nm]

表面缺陷偏差（划痕）/表面光洁度Surface Imperfection Tolerances：

ISO 10110的表面质量/表面缺陷句法结构分析Syntax：

5/N×B; C N×B; L N×F; E D

- A = 缺陷面积[mm2 ]

- B =A(等级)[mm]

- C = 涂层

- D = 边缘损坏的长度[mm]

- E = 边缘损坏

- F = 划痕的宽度[mm]

- L = 划痕

- N = 缺陷数量

挖痕和划痕<2mm：

5/N×B

N = 缺陷数量（挖痕、长度<2mm的划痕、局部基底缺陷）

B = 等级数=A[mm]；A：缺陷面积[mm2]

激光光学元件的可以选择值（ISO 10110未作规定）：B=0.16, 0.1, 0.063, 0.04, 0.025, 0.016, 0.01

18926463275

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