晶振片故障现象、原因及解决办法

时间：2024-01-30作者：郑州科探仪器设备有限公司浏览：34

探头故障现象、原因及排除方法

1、沉积期间厚度读数大跳变

a. 不良晶片产生   解决方案：换晶片

b. 晶片接近其使用寿命  解决方案：换晶片

c. 晶片支承座表面有杂物   解决方案：用酒精或细砂皮清洗支承座

d. 来自溅射源的频率干涉   解决方案： 检查接地，仪器远离溅射源

2、沉积期间晶体停振，但晶片寿命未到

a. 晶片被来自镀膜源熔化材料小熔滴撞击   解决方案：镀膜起始阶段用档板遮蔽后移开

b. 不良晶片   解决方案： 换晶片

c. 晶片支承座内腔表面有杂质   解决方案：清洗

3、晶体在真空中振荡，单暴露空气后停振

a.晶体接近使用寿命，暴露空气导致薄膜氧化而引起薄膜压力增加   解决方案： 换晶片

b. 晶片积累了过多水分   解决方案：暴露空气之前关掉探头冷却水


郑州科探仪器设备有限公司专注于真空探针台,等离子清洗机,小型蒸镀仪等

• 词条

  词条说明

• 中频和射频等离子清洗机之间的主要区别是

  1. 工作频率：40KHz等离子清洗机的工作频率为40千赫（40,000赫兹），而13.56MHz等离子清洗机的工作频率为13.56兆赫（13,560,000赫兹）。工作频率不同会导致设备清洗效果和适用范围上的差异。2. 清洗效果：40KHz的低频等离子清洗对于大多数材料都可以达到较好的清洗效果，但对于一些微米或亚微米级别的颗粒或污染物去除效果可能不佳。而13.56MHz高频等离子清洗则在去除颗粒

• 晶振片故障现象、原因及解决办法

  探头故障现象、原因及排除方法1、沉积期间厚度读数大跳变a. 不良晶片产生   解决方案：换晶片b. 晶片接近其使用寿命  解决方案：换晶片c. 晶片支承座表面有杂物   解决方案：用酒精或细砂皮清洗支承座d. 来自溅射源的频率干涉   解决方案：&n

• 电感耦合和电容耦合的区别和应用场景

  1. 电感耦合（Inductively Coupled Plasma, ICP）：电感耦合等离子体是通过高频磁场与等离子体的相互作用来传递能量的。在电感耦合的过程中，高频电流通过螺线管产生高频磁场，高频磁场切割等离子体产生涡旋电流，从而将能量传递给等离子体。这种方式的优点是稳定性好，能量传递，适用于高密度等离子体的产生，广泛应用于材料刻蚀、沉积和离子辅助沉积等领域。2. 电容耦合（Capaciti

• 真空冷阱表面为什么会有水

  1、空气的液化温度取决于空气的组成成分。一般来说，空气主要由、氧气和少量其他气体组成。在标准大气压下（约为1个大气压，相当于101.325千帕），液态氮的沸点约为-196摄氏度（-321华氏度），液态氧的沸点约为-183摄氏度（-297华氏度）。因此，空气的液化温度应该在这两个温度之间。请注意，这些数值是在标准条件下给出的，实际情况可能会受到气压和空气成分的变化而有所不同。2、当空气的温度降低到的