ZYGO ZeGage Pro 3D光学轮廓仪

时间：2024-07-26

作者：北京仪光科技有限公司

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可直接用于生产的三维光学轮廓仪系统。

ZeGage™ Pro 和 ZeGage™ Pro HR 三维光学轮廓仪可对多种类型表面的微米和纳米级特征进行非接触式测量和表征，实现制造环境中的质量控制和过程监控。

我们行业的 ZeGage Pro 系列由于其的性能、易用性、灵活性和精度为台式工业非接触表面轮廓仪设立了行业标准。ZeGage Pro 在 ZYGO 专有 CSI 技术的基础上，采用一系列的技术，可实现、、简单和省心的表面测量。

有的功能包括 SureScan™ 抗振计量技术、零件查找和智能设置，可简化零件设置并优化测量。快速、轻松地测量各种表面和部件像现在这样简单。

zegage-pro-hr-1080 ZeGage™ Pro ---Zygo高性价比表面轮廓

用于3D形貌定量测试，和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。它工业化的设计提供快速，准确的测量方案，并且外形紧凑、，能够放在生产车间工作，而不需要振动隔离和特殊的隔离装置。同时交互式的控制软件Mx 提供了简单而精细的图形图像来帮助你的加工处理。

关键特点

• 抗震性能，适合于生产车间的计量检测和过程控制。

• 所有参数遵照ISO 25178*标准，保证计量结果的可性度。

• 非接触式计量技术不会引起任何待测件的损伤。

• 计算机控制的4位物镜转台。

• 基于区域的测量，对待测件如何放置不敏感。

• 测量任何耗材。

的性能

结合抗震的非接触式的光学测量技术，振动隔离平台或者隔离装置。

纳米级的表面定量计量精度提供了出色的计量能力。

关联的2D和3D标准，符合ISO 25178面形粗糙度参数标准。

百万像素的高分辨率图形传感器可以在几秒时间内进行快速面测量，并给出表面细节成像。

集成的自动聚焦和聚焦辅助功能使操作非常简单并且减少了由于操作误差。

可选配机动样品台，使检测的自动测量和大面积拼接成为可能。

多功能性

测量各种材料的面形，提供个中参数，包括表面结构，面形和台阶高度等等的2D和3D 图形。

可选择放大倍率和视场为系统提供多选择。

Mx软件提供的用于表面数据图像处理、分析和报告的工具。

配备的T型槽样品台使测量操作简单、可以重复的定位。

生产力和

与同类产品相比较（包括探针式接触式轮廓仪）具有高性价比，及高测量性能。

紧凑的机型，及具有抗震技术SureScan( )技术，使Zegage可以整合在工厂里的任何地方。

非接触式的测量系统，没有耗材，不用担心使用成本。

操作简便，只需简单培训即可上手，也降低了维护成本。

大功率、命的LED光源使设备可以长期无障碍的运行。

词条
词条说明
ZYGO Nexview? NX2 光学轮廓仪
Nexview™ NX2 光学轮廓仪是为高应用需求设计的，集精密、算法、应用灵活性和自动化为一体，优异展现了ZYGO相干扫描干涉(CSI)技术的能力。Nexview™ NX2 光学轮廓仪采用的是非接触式测量技术，具有亚纳米测量精度（所有放大倍数下），可以快好地测量各种样品表面，是一款具有非常高率的产品。满足各种应用需求，包括平面度，粗糙度和波纹度，薄膜，台阶高度，适用于几乎任何材质表面，因此Nex
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NewView™ 9000 3D光学轮廓仪提供了强大、多功能的非接触式光学表面分析。它可以简单和快速地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式的表面。所有的测量都是无损、快速、样品制备的。ZYGO相干扫描干涉技术(CSI)是系统的技术，在所有放大倍数下实现亚纳米的精度，并且能够快速准确的测试各种样品表面，为客户提供高率的体验。性能，和多样性灵活性是ZYGO NewView产品的标志。N
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3D光学轮廓仪主要应用
测量动态MEMS设备光学轮廓仪是确定MEMS设备表面特征的一种非常有用的工具。传统意义上，光学轮廓仪被用来测量样品的表面特性。但是，在测量过程中，所测量的样品需保持在静止的状态下，如果样品不稳定或者处于运动状态则会引起图像混乱模糊、数据不完整或者数据丢失等现象。然而，对于MEMS设备，需要确定该设备处于运动状态时的形貌特征，了解和确定其在运动状态下的功能和特征对研发和生产质量控制至关重