【层压机真空泵】低温真空泵的工作原理和工作过程

时间：2021-04-01

低温真空泵的工作原理和工作过程

CRYO Pump（低温真空泵）为高真空pump，应该和低真空pump配合使用，工作前真空度应该达到10-2mbar ，否则无法工作。

当吸附气体饱和后，要做regeneration（再生），即将高温N2通入使凝结的气体释放而排出pump。

入口处挡片吸附水泡，里面的特殊气体吸附（成液态状）。CRYO pump（低温真空泵）需要接一个compressor(压缩机）通压缩的盒。

Compressor 将he气压缩至约230psi ，并将因气体压缩而产生的高温由 cooling water 冷却，冷却后的高压he由管路送至PUMP ，在cylinder中膨胀，气体膨胀时会降温，因此丛周围吸收大量热量，使80°Karray及15°K分别降温至80°K及15°K （-193°C,-258°C）。膨胀后的he压力约80psi ，再经管路回至compressor中。

当气体分子撞击此低温的array时，会凝结于array上，而达到减少空间中气体分子数量。事实上气体分子并未离开chamber ，只是被保留在PUMP上。

80°Karray用以吸附H2O、碳氢化合物等易凝结的气体， 15°Karray则用以吸附N2、O2、Ar、CO2、CO等气体。至于需要更低温度才凝结的气体，如H2、He、Ne等则使用活性碳（active charcoal）吸附。

当array吸附太多气体后其效率会明显降低，此时须做REGEN。

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