【单级旋片式真空泵】Dry Pump(干式真空泵）的原理和优点

时间：2021-04-01

作者：上海福豫机械设备有限公司

Dry Pump(干式真空泵）的原理和优点

Dry Pump是较基本的真空pump，它是利用螺杆原理来工作的，它主要的特点是可以从大气压下直接开始抽气,所以可以单独使用。

一般真空度要求不高（E-3torr以下），如CVD及furnace仅使用dry pump即可。

气体从中间进入的优点：

1.缩短了气体通过pump的路径，减少了particle的沉积

2.减少了进口与出口压差对轴的影响，减小径向扭矩

Dry pump用在chamber由大气压下直接抽真空，可以维持进出口压差105倍。

Dry pump有电源（电源使马达带动螺杆式转子转动)。

N2 purge(稀释防止particle沉积在间隙内），而且N2形成气帘防止rotor润滑油进入，产生污染。

N2可以调整Ballast来选择性调整N2流量。

Cooling water(防止温度过高使pump无法运转)。

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词条说明
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