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罗茨泵工作原理分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应
XD旋片式真空泵概述XD单级旋片式真空泵为单级联轴式结构,它的工作性能是高转速,低噪声,抽速快,,泵只需空气冷却,有防返油结构,防止泵油返入被抽系统,泵内装有排气过滤器,有效消除油雾,运转平衡,振动小,可以在任意压强下工作。技术参数2×10-2,已普遍适用食品真空包装,医药、印刷机械纸张输送,玻璃工业输送,真空夹具,干燥等单位的使用。.不能抽除易燃、易爆、含氧量高的、腐蚀性气体。如连续长时间在较高
普旭真空泵运转中的注意点: (1)运转中必须按照罗茨真空泵的技术规格使用,在正常情况下,罗茨真空泵的入口压力在1330Pa以下,泵的大压差不得其大允许压差值。 (2)注意电动机负荷和泵的各部位温升,在正常运转情况下,泵的高温升不得过40℃,高温度不得过80℃。如果选用水环泵作为前级泵时,有时因两
旋片式真空泵使用说明:1、与泵联接的管道不宜过长,且不宜小于泵的进气口径。2、被抽气体温度不得40℃,否则应把气体冷至常温。3、含有较多尘埃的气体则应加以过滤,有腐蚀性及油起化学反应之气体则应加气体吸收及综合装置,如含水蒸气过多,则应加去湿装置,以防止泵油弄脏,影响其真空性能及泵的使用寿命。4、泵云装过程中油温不能70℃,在正常工作时应听到“嗒、嗒、嗒”之排气声,如有异声或温度骤升时应停止工作,检
公司名: 上海福豫机械设备有限公司
联系人: 黄先生
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地 址: 上海金山廊下镇金廊公路41号10幢224室
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