【真空泵厂家】真空系统常用名称

时间：2021-08-18

作者：上海福豫机械设备有限公司

真空系统常用名称

①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

性能参数编辑

参数名称参数定义

真空泵的极限压强泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压强。

真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩*位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

真空泵的抽气量真空泵的抽气量单位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的气体流量。

真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。

真空泵的前级压强真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。

真空泵的大前级压强真空泵口大前级压强单位是Pa，它是指**过了能使泵损坏的前级压强。

真空泵的*作压强真空泵的*作压强单位是Pa，它是指对应大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

真空泵的压缩比压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

真空泵的何氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。

真空泵的抽速系数泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

真空泵的返流率泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

水蒸气允许量水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

大允许水蒸气入口压强大允许水蒸气入口压强单位是Pa。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的高入口压强。

词条
词条说明
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