真空系统的基本要求是都有哪些?
1、在被抽器件或工作室内获得所需的真空和工作真空度。
真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度,工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地真空度。真空度和工作真空度各有其重要性,它们从不同侧面对器件质量产生影响。例如在用氧化物阴极器件的排气真空系统中,电10-2较除气和阴极分解会大量出气,如果工作真空度差,则可能出现电极被氧化及阴极激活欠佳的结果。但器件后封离时已基本上无漏放气,器件内的真空度就取决于排气真空系统的真空度。
2、为获得某一工作真空度所需的时间
这时间决定于真空系统抽速的大小。提高抽速可缩短这一时间。大的工作室显然需要大的抽速。有时工作室虽然不大,但由于漏放气严重,则真空系统也需要大的抽速,否则大量的漏放气将大大降低真空度,使系统无法工作。
3、在被抽器件或工作室内有合适的残气成分
实践证明,单纯提高和保证真空度及工作真空度是不够的,还应对残余气体成分有一定的要求。例如真空摄像器件,为了保持在一年寿命期内灵敏度的降低不大于巧,要求器件内的残余气体的含氧量应不10-2Pa 耐高压的真空开关管内,应不含有碳氢化合物分子等等。真空系统的残气成分,如系统中无其它气源,则主要取决于泵的特性。
4、真空系统还必须结构简单、性能可靠、操作维护方便、价格便宜等
要满足这些要求,必须从泵的选择、管道尺寸的确定及布置、装配工艺等多方面综合考虑。上述这些基本要求经常是相互联系的。例如,由于真空系统总不免存在有微漏现象,故采用抽速大的泵比抽速小的泵能获得较好的工作真空度,但大的泵价格贵,耗水、耗电多,故有合理选择的问题。仪器和小型的真空系统宜选用微型真空泵,成本低、、噪音小,有的用户选用流量较大的工业真空泵是不合适的。
5、自动化要求
随着计算机技术的发展,用户对真空系统的自动化要求也不断提升。对于真空系统,自动控制主要是对真空泵流量和真空度的调节。真空度常常通过调节真空泵流量、安装节流阀、泄压阀来控制。用节流的办法能量损失大、产生额外噪音,好是直接调节真空泵的转速。工业真空泵调速的方法有多种,主要分为两类:类是电机转速不变,通过附加装置改变真空泵的转速,如变速箱调速,二类是直接改变电机的转速,如可控硅串级调速、变频调速等。目前工业真空泵常用的方法是变频调速,节能效果好,可实现无级调速,调速比大,调速精确,速度平稳。
词条
词条说明
旋片式真空泵使用说明:一. 首先在开箱时要检查您所采购的旋片式真空泵在运输过程中是否有损坏、是否符合使用要求。如您发现有所不理解,请马上致电我公司销售工程师二. 您在使用安装调试旋片式真空泵前,请您仔细详阅使用说明,严格按产品操作程序实施,并要注意先拧开加油螺塞从加油孔中加油至油标2/3,后从进气管孔内加入少许泵油为加强泵腔内润滑。油位过低对排气阀不能起封闭作用且影响真空度,过
真空泵的总体结构式:真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构: 1、立式结构:进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵; 2、 卧式结构:泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一
旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片真空泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。 旋片真空泵的工作原理图是怎样的? 旋片真空泵的工作原理: 旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片真空泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内
XD系列真空泵安装方法: (1)安装 泵应水平安放。由于泵运转时几乎没有振动一般可不固定,泵底部减震垫块上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵,以免损坏减震垫块。 为保证泵得到良好的冷却和便于维修,建议在泵进气口和排气口前留有0.4m的空隙。为方便放油可安装带放油盘的底座。 发运的泵不带油。安装后,通过加油口缓慢注入所规定的真空泵油(见保养、维修1)到油
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