真空泵的安装
1、安装
安装场所宽阔、采光良好,空气的相对湿度宜低,灰尘少,空气清净且通风良好。
环境温度:5—30摄氏度。
环境压力:大气压。
预留保养空间,真空泵与墙之间至少须有1米以上距离,真空泵空间距离应有1米以上,预留通道,以便维修保养。
真空泵运作时,表面温度可以达到72℃以上,小心烫伤。
请确保真空泵的安放位置易于看见油位镜。
2、配管、基础
主管路配管时,管路通径不能小于真空泵的进气法兰通径,好选用设计值较大的管径,使得压力降不至于过大。进气管道应配有关闭阀。
支线管路必须从主管路的接出,不允许有固体或液体进入真空泵。
主管路的管径不要任意缩小。如果必须缩小管路管径时须使用渐缩管,否则在接头处会有紊流情况发生,导致大的压力损失,管路中尽量减少使用弯头及各类阀门,以减少管路的压力损失。
主管路配管时,连接的管路应不使用真空泵产生附件应力,如有必要,要加装柔性接头。
排气管道不允许装有节流装置,排气管道应采用防止异物返入泵内的方式安装。
真空泵所产生的振动小,故不需要做专门的基础,但其所放置的地面应平坦、水平,且 地下不可为软性土壤。可通过地脚脚垫垫块上的螺孔用螺栓固定。
词条
词条说明
产品优势1、**命叶片2、低噪音水平3、易维护4、能忍受较高水蒸气5、保养周期长产品特点1、低噪音,低震动,工作环境不会受影响 。2、内置高效油雾过滤器,所排出的气体不含油雾。  
旋片式真空泵拆装步骤:1、先把油放啦、松开进气咀法兰螺钉,拔出进气咀,松开气镇法兰螺钉,拔出气镇阀2、拆下油箱、拆除止回阀开口销,拆下止回阀叶轮。3、拆除支座与泵的连接螺钉,拆下泵部装件,电机拆否视方便而定。4、松开泵盖螺钉,拆下泵盖,拉出二转子及旋片。拆下低级转子时,应先拆下开口销。旋片式真空泵装配步骤1、旋片式真空泵装上泵部的排气阀、挡油板等零件。2、把泵部、键、联轴节、电机装在支座上3、用纱
日常维护1、定期做保养时,将散热油管及其它油路管拆卸下来进行清洗和疏通。2、当真空泵积碳严重时,必须进行大的维护保养工作,必要时需换油路管。因为,当真空泵积碳后,不知道油管内壁会有多厚的积碳。3、定期检查油管是否漏油、穿孔等情况。如有发生,及时处理。4、散热油管外表有一层散热鳍片,该功能在风冷的情况下能好的降低真空泵温度,达到稳定的真空度。故而在搬运、使用时小心对待。5、由于该产品采用铝质材质,质
罗茨泵工作原理分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应
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