【包装机真空泵】真空泵的压强范围


    压强范围


    真空泵种类 工作压强范围(Pa) 起动压强(Pa)


    活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105


    旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105


    水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105


    罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103


    涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3


    水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105


    油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10


    油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105


    分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105


    溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1


    钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2


    锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10




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