普旭真空泵安装
(1)真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所。
(2)真空泵的环境温度为5-40℃。
(3)真空泵应水平安装,其周围应留有充分的余地,便于日常检查、维护保养。装拆方便。
(4)接通电源后,电机转向应符合泵上转向箭头所示。
(5)连接被抽容器的管道应清洁。无杂质等异物,孔径不应小于泵口口径,长度宜短,以保证其有足够的通导能力,管道连接应密封不漏。
(6)被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。
(7)真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。
(8)电气设备必须有互锁保护装置,当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。
(9)小泵可以直接启动,大泵须设启动器。
词条
词条说明
罗茨泵工作原理分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应
旋片真空泵的使用方法1、使用前,应仔细阅读产品使用说明书,开箱后应检查装运质量,收好备品备件和技术文件,拆除排气品防护件。按要求安装,接线,试转向。水泠泵接水。2.为防止因返油与反转而喷油,应先开启泵口,按规定转向把泵内存油用手盘到油箱中,同时查看油位,应在油标中心以上,但不要满油标,多了要放3、判断转向的辅助方法,把护套倒放在家口上,如开系后被吸住,是正向,被攻落,是发向,声音正常是正向,声音异
旋片真空泵罗茨泵 从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占**罗茨泵销售额的比例都没过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在**国内市场基础
旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵的两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大,气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,因此将气体吸入。当空间
公司名: 上海福豫机械设备有限公司
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