使用真空泵的注意事项
1. 正常运传前,真空泵应先做一次试运转,检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强,应符合技术规范。真空泵在*工作的条件下,真空泵温不应过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂,一般不作检查。
2. 需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水,然后再启动。冷却水的出口水温不宜过30度。
3. *安装真空泵时,应检查电机是否正转,也就是电机与真空泵内转子转向*,一般电机上方标有电机正常运转方向。
4. 真空设备应安装在清洁、干净的环境里,不宜有杂物、粉尘、水源,温度过高的地方也不适合。
5. 拆洗和装配机械真空泵时必须注意不要碰伤密封面,不要损失螺钉,清洗干挣的部件要吹干或供干(温度不宜过高、时间不宜过长。装配时真空泵壁抹上少量油脂,尽可能消除死空间,油量以油线为淮,过量会喷油。
6. 连续真空泵与被抽系统的管道应尽可能短而粗,管道内径一般应不小干真空泵进气口直径,以避免由干管道阻力而影响抽气速率。
7. 使用前,检查机械真空泵油是否到视窗的油标线位置。同时,必须检验电动机皮带轮的旋转方向。观察者正对皮带轮,皮带轮应按顺时针方向旋转,若反方向旋转时,可把相电源中任意二相接头对换一下即可。否则,旋片真空泵不起抽气作用反而会把真空泵油和大气打入被抽系统,造成严重污染。
8. 长时间停机启动真空泵前,应断续多次启动真空泵。
9. 要注意防止坚硬物质(金属屑、玻璃碎片等)落入真空泵内,划伤真空泵的运动部件。真空泵*停止使用时,应存放在干燥、请洁的环境中,并将抽气口和排气口堵死,防止污物落入。
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词条说明
罗茨泵工作原理罗茨泵工作原理分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真
真空泵更换浮子阀1、回油浮球安装在油箱内,泵头处的回油管将连接与之相通的孔,将泵头内多余的油收集到油箱内部。2、当回油浮球失去效果,则在油位较高时无法堵住油口,后果将会导致整个回油油路无法正常工作。从而间接导致真空泵泵体润滑不够,或泵体油分过多。3、为了保持油路的畅通和正常工作,以及获得稳定的真空度、延长真空泵使用寿命的前提下,当大保养或维修时若回油浮球失去效果,请立即更换!浮子适用于普旭旋片式真
普旭真空泵运转中的注意点: (1)运转中必须按照罗茨真空泵的技术规格使用,在正常情况下,罗茨真空泵的入口压力在1330Pa以下,泵的大压差不得**其大允许压差值。 (2)注意电动机负荷和泵的各部位温升,在正常运转情况下,泵的高温升不得**过40℃,高温度不得**过80℃。如果选用水环泵作
普旭真空泵逆止阀的性能及特点:1、采用特殊橡胶塑料制成,具有耐高温、抗击打的特点,在真空泵油的高温的环境中不易变形;2、O型圈采用氟胶圈,在具有很好的密封作用下,还具有耐高温、不粘结、寿命长的特点;3、弹簧材质经测试后,平均起弹次数达50亿次以上;4、严格按照原厂尺寸生产而成,可顺利安装入真空泵进气口,且完全符合进气口的尺寸。此点用户可放心使用!5、起弹效果佳,在产品使用寿命内,均能正常恢复常态。
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