真空泵的操作
1、开机前的检查
检查油位是否在MAX-MIN之间,润滑油不可太多,亦或太少,不足时应补充。
禁止混用不同牌号的润滑油,补充润滑油时,应确定系统内已经没有压力时,方可打开加油塞。
接上电源线及接地线,测试电压是否准确,电源是否无误。
2、试车、开机与停机
试车
1.关闭进气口。
2.点动电机检查真空泵的旋转方向,如旋转方向不对,则对调三相电源中的任意两相。
开机
1.打开进气口。
2.合上电源开关
停机
1.关闭进气口
2.断开电源开关
词条
词条说明
真空系统的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度,工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。极限真空度和工作真空度各有其重要性,它们从不同侧面对器件质量产生影响。例如在用氧化物阴极器件的排气真空系统中,电10-2较除气和阴极分解会大量出气
泵轴轴承位磨损真空泵传动部位磨损是普遍存在的问题,其中包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位,传统方法以补焊和刷镀喷涂为主,但两者均存在一定弊端:补焊高温产生的热应力无法完全消除,易造成材质损伤,导致部件出现弯曲或断裂;而电刷镀受涂层厚度限制,*剥落,且以上两种方法都是用金属修复金属,无法改变“硬对硬”的配合关系,在各力综合作用下,仍会造成再次磨损。当代西方国家针对以上问题多使用高分子复合
罗茨泵工作原理罗茨泵工作原理分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真
真空系统常用名称①主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。②前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。③粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。性能参数编辑参数名称 参数定义真空泵的极限压强 泵的极限压强单位是
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