真空泵的操作
1、开机前的检查
检查油位是否在MAX-MIN之间,润滑油不可太多,亦或太少,不足时应补充。
禁止混用不同牌号的润滑油,补充润滑油时,应确定系统内已经没有压力时,方可打开加油塞。
接上电源线及接地线,测试电压是否准确,电源是否无误。
2、试车、开机与停机
试车
1.关闭进气口。
2.点动电机检查真空泵的旋转方向,如旋转方向不对,则对调三相电源中的任意两相。
开机
1.打开进气口。
2.合上电源开关
停机
1.关闭进气口
2.断开电源开关
词条
词条说明
真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接,组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度,工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。极限真空度和工作真空度各有其重要性,它们从不同侧
真空泵的操作1、开机前的检查检查油位是否在MAX-MIN之间,润滑油不可太多,亦或太少,不足时应补充。禁止混用不同牌号的润滑油,补充润滑油时,应确定系统内已经没有压力时,方可打开加油塞。接上电源线及接地线,测试电压是否准确,电源是否无误。 2、试车、开机与停机试车1.关闭进气口。2.点动电机检查真空泵的旋转方向,如旋转方向不对,则对调三相电源中的任意两相。开机1.打开进气口。2.合上电源
罗茨泵工作原理罗茨泵工作原理分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真
普旭真空泵使用说明: 新泵安装就位后先查看油位,齿轮侧油位以油面浸没3-5齿为宜,电机侧以油窗中心略高为宜,轴伸上油杯不应缺油,各部位润滑油均采用1号真空泵油。 1、真空泵启动程序: (1)启动前级泵。
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