旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片真空泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。 旋片真空泵的工作原理图是怎样的? 旋片真空泵的工作原理: 旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片真空泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片*与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿旋片真空泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,旋片真空泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,最后与排气口相通。当被压缩气体**过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。由旋片真空泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级旋片真空泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。
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按性能特点和用途分类(1)低真空泵泵的极限压力**102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。(3)高真空泵极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真
普旭真空泵没有吸力原因一:真空泵漏气,密封件老化起不到密封效果。普诺克真空解决方法:泵拆解后清洗干净,组装换密封套件。原因二:真空泵油乳化或变黑,油没有润滑性。普诺克真空解决方法:1.打开加油口、再打开放油阀、泵内的大部分泵油可以排出;然后关闭加油口放油阀。2.泵的吸气口向大气开放,空转5秒,缸体内的剩余泵油容易被排出。3.打开加油口,再打开放油阀,然后排出泵油。4.关闭放油阀,把*的新油按规定
罗茨泵工作原理分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应
普旭真空泵逆止阀的性能及特点:1、采用特殊橡胶塑料制成,具有耐高温、抗击打的特点,在真空泵油的高温的环境中不易变形;2、O型圈采用氟胶圈,在具有很好的密封作用下,还具有耐高温、不粘结、寿命长的特点;3、弹簧材质经测试后,平均起弹次数达50亿次以上;4、严格按照原厂尺寸生产而成,可顺利安装入真空泵进气口,且完全符合进气口的尺寸。此点用户可放心使用!5、起弹效果佳,在产品使用寿命内,均能正常恢复常态。
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