【国产真空泵】罗茨泵的工作原理

时间：2021-10-30

罗茨泵工作原理

分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

干泵国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。

词条
词条说明
【旋片式真空泵厂家】真空泵的保养操作
真空泵保养操作：维护时间表真空泵维护时间间隔根据每个客户工作环境而定。您可以根据您的实际使用状况，缩短维护时间间隔，尤其是灰尘大的工作环境。Ⅰ 每日需要维护事项：检查油位及油的颜色。Ⅱ 每星期需要维护事项：检查真空泵是否漏油。Ⅲ 每月需要维护事项：检查排气过滤器的功能，必要时请清洗或更换进气过滤器。Ⅳ 每6个月需要维护事项：检查真空泵泵腔是否有灰尘、污垢、积
【单级真空泵】真空泵的日常维护
日常维护1、定期做保养时，将散热油管及其它油路管拆卸下来进行清洗和疏通。2、当真空泵积碳严重时，必须进行大的维护保养工作，必要时需更换油路管。因为，当真空泵积碳后，不知道油管内壁会有多厚的积碳。3、定期检查油管是否漏油、穿孔等情况。如有发生，及时处理。4、散热油管外表有一层散热鳍片，该功能在风冷的情况下能更好的降低真空泵温度，达到更稳定的真空度。故而在搬运、使用时小心对待。5、由于该产品采用铝质材
【覆膜机真空泵】 XD旋片式真空泵概述
XD旋片式真空泵概述XD单级旋片式真空泵为单级联轴式结构，它的工作性能是高转速，低噪声，抽速快，效率高，泵只需空气冷却，有防返油结构，防止泵油返入被抽系统，泵内装有排气过滤器，有效消除油雾，运转平衡，振动小，可以在任意压强下工作。技术参数2×10-2，已普遍适用食品真空包装，医药、印刷机械纸张输送，玻璃工业输送，真空夹具，干燥等单位的使用。.不能抽除易燃、易爆、含氧量高的、腐蚀性气体。如连续长时间
移动式负压真空站的作用及结构原理
移动式负压真空站结构原理旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。旋片式真空泵是真空技术中较基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。旋片泵的抽速与入口压