罗茨泵工作原理
罗茨泵工作原理
分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
干泵 国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。
词条
词条说明
【普旭旋片真空泵逆止阀】性能特点1、旋片真空泵逆止阀采用特殊橡胶塑料制成,具有耐高温、抗击打的特点,在真空泵油的高温的环境中不易变形;2、真空泵逆止阀O型圈采用氟胶圈,在具有很好的密封作用下,还具有耐高温、不粘结、寿命长的特点;3、弹簧材质经测试后,平均起弹次数达50亿次以上;4、严格按照原厂尺寸生产而成,可顺利安装入真空泵进气口,且完全符合进气口的尺寸。此点用户可放心使用!5、起弹效果佳,在产品
真空泵的概述:XD系列真空泵是一款基本型的真空获得设备,为单级压缩腔,三片旋片结构,采用真空泵油作为工作液。XD系列真空泵主要用干低中真空范围,用于抽除普通空气或惰性气体,也可抽除少量可凝性气体,如水蒸气等。泵的工作压力为泵的极限压力到大气压范围内。XD系列产品因其坚固,耐用,可靠,经济的优点已经在各行业领域得到了越来越多的应用。电机温度高原因分析(1)电机功率大,工作电流大,发热量大。(2)风扇
普旭真空泵安装 (1)真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所。 (2)真空泵的环境温度为5-40℃。 (3)真空泵应水平安装,其周围应留有充分的余地,便于日常检查、维护保养。装拆方便。 &n
真空泵散热油管堵塞疏通及日常维护方法:1、找一个干净的托盘,内倒入足够量的干净水,添加入洗涤剂(不可使用腐蚀性洗涤剂)。2、将真空泵散热油管从真空泵中拆卸下来,用风枪对准一头的管孔,不管能不能吹出脏物,此步可间断性操作。3、头几次会吹出更多的脏物,等吹到没有多少东西出来时,将散热油管置于溶解洗涤剂的托盘内浸泡4-6h。4、在浸泡的过程中,可适当的按照堵塞情况多次拿出用风枪对准管口吹。5、浸泡完后再
公司名: 上海福豫机械设备有限公司
联系人: 黄先生
电 话: 17502155678
手 机: 17502155678
微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下镇金廊公路41号10幢224室
邮 编: