PBA XY中空回字形平台产品介绍

时间：2022-03-17

作者：碧绿威自动化（深圳）有限公司

PBA XY中空回字形平台专为高速、高精度和低稳定时间而设计。

该平台用于高精度应用，适用于需要高动态和微米级直线度的双面晶圆加工和准静态光学计量。由PBA DX B无铁芯直线电机系列提供驱动，具有优越的几何性能。

产品特征：

• 集成、薄型、XY、线性电机载物台，带通光孔径

• 优异的几何性能

• 针对高动态应用进行了优化

• 速度达2 m/s，加速度达1G

• 提供定制解决方案

词条
词条说明
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