等离子清洗机去除光学元件污染物

时间：2022-03-30

光学元件等离子清洗去除表面**污染物

光学元件等离子体清洗机去除附着的**污染物，恢复元件的光学性能和表面形貌，同时不能降低其抗污染性能。

等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合，通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除**污染物、油污或油脂.

低温等离子体清洗机有效恢复光学元件的选择透过性能和抗激光损伤性能；可以有效去除光学元件表面附着的**污染物，不会造成二次污染；等离子清洗机有效恢复光学元件的表面形貌，实现对光学元件的全面恢复效果。

低温等离子体清洗机不会改变光学元件增透膜成分，反应过程中会形成表面羟基，使元件表面自由能及其级性分量提高，显著增强元件的表面润湿性；不会损伤光学元件，并且可以提高元件的抗**物污染能力。

等离子清洗机与湿法清洗工艺相比，等离子清洗机不需要使用强酸、强碱等溶液，不需要后期的烘干过程，也无废水处理的要求，是经济环保、**次污染的清洗方法。

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词条说明
半导体封装领域等离子清洗机的应用
等离子体清洗机广泛应用于电子行业、手机制造业、汽车制造、纺织、生物医学、新能源及航天航空等行业。如电子器件的涂覆处理、PC塑框粘接前处理、机壳、按键钮等结件表面喷油丝印；PCB表面除胶除污清洁，镜片粘前处理；电线，电缆喷码前处理；等离子清洗机在引线键合、去除表面沾污等半导体封装领域的应用:聚合物剥离,金属剥离,掩膜材料去除,高剂量离子注入后光刻胶去除,碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟生产线光刻胶去除
等离子清洗机对高分子材料的表面改性
等离子清洗机可以增加表面张力，精细清洁，去除静电，活化表面等功能，广泛应用于玻璃、金属、线缆、橡胶、塑料、糊盒、糊箱、橡胶表面改性处理。等离子清洗机对高分子材料的表面改性随着高分子材料制备技术的不断发展，其应用范围也越来越广，但由于高分子材料表面的惰性往往限制了它们的应用，低温等离子体清洗机能够有效的改善高分子材料的表面性能，包括润湿性、粘合性、染色性、印刷性、防静电性、拒水性和拒油性及其他性能等
等离子清洗机对晶圆的表面处理
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