等离子体清洗机能够有效的改善高分子材料的表面性能,包括润湿性、粘合性、染色性、印刷性、防静电性等等
等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。等离子清洗机能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力
等离子体清洗机不分处理对象,可以处理各种各样的材质,无论是金属、半导体、氧化物,还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可以使用等离子体清洗机来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且等离子清洗机还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗;
等离子清洗机在完成清洗去污的同时,还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等
等离子清洗设备的原理:等离子体和固体、液体或气体一样,是物质存在的状态,等离子清洗设备利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理,从而达到清洁、改性等目的,还可以根据需要改变某些材料的表面特性。等离子体清洗机作用于材料表面,重组材料表面的分子化学键,形成新的表面性质,可以增强材料的附着力、相容性、渗透性。
词条
词条说明
等离子体清洗机的表面处理技术是利用等离子体实现常规清洗方法所不能达到的。等离子体是物质的一种状态,也称为物质的四态,与一般的固体气体三态不同。向气体施加足够的能量,使其离化,即为等离子态。其“活性”成分包括:离子、电子、原子、活化基、光子等。等离子清洗法是利用这些活性成分对试样表面进行处理,达到清洁、涂覆等目的。工件表面经化学或物理处理后,可在分子水平上去除污染物,从而提高工件表面活性。在微电子技
在半导体器件生产过程中,晶圆芯片表面会存在各种微粒、金属离子、**物及残留的磨料颗粒等沾污杂质,为了避免污染物对芯处理性能造成致致命影响和缺陷,在保证不破坏芯处理及其他辅助材料表面特性、电特性的前提下,半导体晶圆在制造过程中,需要经过多次的表面清洗步骤,而晶圆光刻胶plasma等离子清洗机是晶圆级和3D封装应用的理想的干式清洗设备。晶圆光刻蚀胶等离子清洗机的应用:等离子应用包括预处理、灰化/光刻胶
FPC软性线路板采用低温等离子体清洗机来处理能有效去除孔壁残胶,达到清洁、活化及均匀蚀刻的效果,有利于内层线路与孔壁镀并且切不会对基材造成损伤,等离子清洗设备是目前有效的对表面清洗、活化、涂层的工艺设备。等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离
随着电子信息产业的发展,特别是通信产品、电脑及部件、半导体、液晶及光电子产品对**精密工业清洗设备和高附加值设备的比例要求逐步增大,等离子表面处理机设备已经成为很多电子信息产业的基础设备。并且随着行业技术要求的不断提高,等离子清洗技术将在国内有加广阔的发展空间。 等离子表面处理机设备,等离子刻蚀机的优点: 1.改性仅发生在材料的表面层,不影响基体固有性能,且处理均匀性好。 2.作用时间短(几秒到
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