高精度和高分辨率的气浮平台系统在近代工业生产和科学研究领域内占有为重要的地位。它直接影响精密、精密切削加工水平、精密测量水平及大规模集成电路生产水平。它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。气浮平台系统的定位精度和行程范围直接影响到生产加工的精度和加工能力。同时工作台的速度、加速度及启停过程的稳定时间则影响到设备的效率,成为系统的重要指标。
由于精密及精密气浮平台的定位精度和分辨率多在亚微米级,工作环境 的影响不容忽视。温度的变化直接影响平台的定位精度,外部振动会影响系统的稳定性,环境温度与湿度的变化会影响传感器的精度。因此精密及精密气浮平台的工作环境要求高,对温度及湿度的变化一般控制到20 ± 0.1℃和湿度50%±5%以内,高精度的平台则要求控制到温度变化20 ± 0.1℃以内。而恒温车间的建造价格高,为达到小的温度变化,多采用多级恒温车间嵌套的措施,加增加了建设成本,同时空调等设备的运行费用也不可忽视。
这些因素使得精密及精密气浮平台在正常的工业环境中应用受到了很大的制约。因此有必要提出一种新的设计观念,从一开始就综合考虑车间工作环境 建造成本、运行费用、使用要求、工作台技术指标、制造成本等技术经济因素, 通过新材料和新的控制技术在精密及精密气浮平台中的应用,降低气浮平台对使用环境的要求和整个生命周期的研制使用费用,提高精密及精密气浮平台的综合性能。这对精密及精密平台的推广应用,提高我国的制造业水平有着重要的意义。词条
词条说明
其实在科研或制造业中可以看到一些搭载气浮转台的专业设备,这些专业的设备在使用的过程中能够有效的保证精度性能,相比机械转台,气浮转台发挥着很大的作用,能保证精度,但是在看到众多的设备时,大部分的人可能都不知道这中间到底有什么样的优势,比如可以来看一下气浮转台是什么回事呢?气浮转台是设法把转轴在空气中悬浮起来,并可以稳定的高精度的旋转,这种悬浮是轴承腔内导入的空气压力来实现的,泄压的缝隙特别小,
高精度和高分辨率的气浮平台系统在近代工业生产和科学研究领域内占有为重要的地位。它直接影响精密、精密切削加工水平、精密测量水平及大规模集成电路生产水平。它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。气浮平台系统的定位精度和行程范围直接影响到生产加工的精度和加工能力。同时工作台的速度、加速度及启停过程的稳定时间则影响到设备的效率,成为系统的重要指标。由于精密及精密气浮平台的定位精度和分辨率多
气浮运动台逐渐得到大家的认可。如今的制造业早已进入到快速发展的阶段,传统的丝杆驱动结构或直驱线轨台影响到了很多检测设备的性能。在运动控制方面凭借着专业的经验早就已经推出很多不一样的产品,如果仔细观察生产现状,就会发现有一种气浮运动台,具有着好的效果,那么它到底有哪一些特点? 首先气浮导轨接近零的摩擦系数,较高的直线度和平度误差,而且还拥有着直线电机驱动,整体的
气浮运动台,随着半导体进入到快速发展的阶段,相应的加工检测设备也会逐渐的提高性能,所以有许多的公司都会用到气浮运动台,这是一款高精度的设备,主要作用于半导体加工、检测,微纳加工,测试测量等,但是它到底有哪些主要的优势。1. 直线度和平面度高2. 定位精度和重复定位高3. 速度稳定性高4. 偏摆、俯仰、滚
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