等离子清洗机集成电路去胶

时间：2022-05-30

等离子体清洗机的表面处理技术是利用等离子体实现常规清洗方法所不能达到的。等离子体是物质的一种状态，也称为物质的四态，与一般的固体气体三态不同。向气体施加足够的能量，使其离化，即为等离子态。其“活性”成分包括：离子、电子、原子、活化基、光子等。等离子清洗法是利用这些活性成分对试样表面进行处理，达到清洁、涂覆等目的。工件表面经化学或物理处理后，可在分子水平上去除污染物，从而提高工件表面活性。

在微电子技术中，光刻胶是一种非常重要的微细图形材料，它的主要作用是在表面上进行化学或机械处理时，对基片上的基片进行保护。当刻蚀或离子注入后，就不再需要光刻胶作为保护层，可将其去除。光刻胶去胶效果太差，影响生产效率，去胶效果太强，容易损坏基底，影响到整个产品的成品率。

采用等离子体表面处理技术剥离光刻胶时，要在等离子体环境中通过氧原子核和光刻胶进行反应，以消除光刻胶，因为光刻胶的基本成分为烃类**物，氧离成氧原子，在射频或微波的作用下，电离成氧原子，与光刻胶发生化学反应，产生一氧化碳、二氧化碳、水等，再经泵真空抽空。去除光刻胶的过程。

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词条说明
LED屏点胶前等离子清洗机预处理
LED 屏外表面镀锡，以保护 LED 划伤和防潮。但它不能持续很长时间就会损坏，而 LED 屏幕成本高，一小块 LED（200 毫米 * 200 毫米）成本 500 美元。一个大的LED屏幕是由许多小LED组成的，所以非常昂贵。为了得到好的保护，LED屏需要点三防胶，可以防水、防尘、防腐蚀。但是在LED屏表面涂锡时点胶就失败了，表面非常光滑，附着力差。在这种情况下，等离子体清洗机起到了重要的作用，
等离子清洗机的涂覆功能
等离子清洗机的表面涂覆功能表面涂覆典型的作用就是在材料的表面形成一层保护层。等离子清洗机主要应用于燃料容器、防刮表面、类似于聚四氟(PTFE)材质的涂镀、防水镀层等。等离子清洗机的表面涂覆功能在给材料进行保护的同时也在材料表面形成了一层新的物质，对后序粘结和印刷工艺中进行改善。等离子清洗机有几种称谓，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机
等离子清洗机用于IC封装工艺
等离子清洗机解决封装工艺中键合等问题，等离子体清洗机广泛应用于PBGAS及倒装晶片过程中和其它基于聚合物的衬底，以利于粘结，减少分层等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处
等离子清洗机增强TP模块附着力
等离子清洗机处理是有效的对表面进行清洗、活化和涂层的处理工艺之一，可以用于处理各种材料，包括塑料、金属或者玻璃等。等离子处理机对表面清洗，可以去除表面上的脱模剂和添加剂等，而其活化过程，则可以确保后续的粘接工艺和涂装工艺等的品质，对于涂层处理而言，则可以进一步改善复合物的表面特性。使用等离子清洗机可以根据定的工艺需求，高效地对材料进行表面预处理。等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离