产品名称:KURT J LESKER残余气体分析仪RGA
产品型号:RGA w/ FC,RGA w/ EM
产品介绍
KJLC 元件是具有成本效益的 RGA,是市场上更低的小型可检测分压 (MDPP) 之一。
使用一个RGA,您可以轻松检测到空气泄漏、冷却水泄漏、泵中的油回流、因溶剂清洗不当而留下的氟和氯、先前样品的腔室污染以及(棘手的问题)贯穿泄漏在供气阀中。
性能特点
l 2.6x10-12 Torr可检测分压 (MDPP) 与 FC 和 1.5x10-14 Torr可检测分压 (MDPP) 与 EM
l 100 和 200 amu 选项
l 提供预建的 LabVIEW 驱动程序
l 访问 API 命令以进行系统集成
l 具有成本效益的气体分析
l 法拉*杯和电子倍增器选项
l 集成软件、LabVIEW 驱动程序和对 API 协议的访问
技术参数
产品应用
泄漏检测
抽空和烘烤监测
气体和污染物识别
真空系统诊断
过程监控
词条
词条说明
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